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                        工作真空度  正確地了解與確定一個(gè)設(shè)備所要求的真空度是很重要的，  它直接影響到真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)選擇和對(duì)設(shè)備維修的要求。真空  系統(tǒng)一定要能夠滿足作業(yè)所要求的真空度。只要系統(tǒng)具有足夠  的氣密性，內(nèi)部又沒有經(jīng)常放出氣體或蒸氣的氣源，則這一要求  是可以滿足的。當(dāng)然也并不是真空度愈高愈好。否則會(huì)使設(shè)備  外形過分臃腫，成本增加。

                        (1)烘烤  這主要是射離子泵內(nèi)鈦沉積層吸附了大量水汽之故。為驅(qū)除水汽必須姚。抽速也小，  當(dāng)濺射離子泵長(zhǎng)期暴露大氣時(shí)，不但會(huì)出現(xiàn)啟動(dòng)困難，而且極限壓力也  烘烤時(shí)應(yīng)將磁鋼、各種引線、橡膠密封圈等拆下，緩緩升溫，直至250~300℃,恒溫  12h,烘烤時(shí)泵內(nèi)真空度應(yīng)不低于1×10-1Pa。烘烤完畢后，緩緩打開烘箱，裝上磁鋼。  )氬清洗處理  濺射離子泵沾污過油蒸氣或其他有機(jī)物，陰極板氧化或大量排過氫氣，則濺射離子泵真  空度會(huì)下降。一般可采用烘烤去氣后再進(jìn)行清洗處理。氬清洗是用氬離子轟擊鈦板，把陰  極板上的沾污物或溶解在陰極板里面的氫轟擊出來。

   在超高真空實(shí)際量中，圖量結(jié)果的準(zhǔn)確性除了和真空計(jì)本身、真空計(jì)的校準(zhǔn)  有美外，還和測(cè)量中其他因素有關(guān)，如氣體種類和被測(cè)系統(tǒng)狀態(tài)、直空計(jì)規(guī)管及連  接管道的抽氣與放氣、規(guī)管的安裝位置及方法等。超高真空系統(tǒng)中的氣體組分比較  簡(jiǎn)單，殘余氣體和常用的工作氣體多為H2、N2,Ar、CO、CO2等單一氣體，影  響量的O、H1O、油氣等氣體可以少于考慮。影響測(cè)量的主要因素為：電離  規(guī)的抽氣與氣體再釋放、熱表面與被測(cè)氣體相互作用及非均勻態(tài)的壓力測(cè)量等。

深圳楊程真空設(shè)備主要從事真空泵維修、萊寶真空泵維修服務(wù)。下面，和大家說說萊寶真空泵之?dāng)U散泵維護(hù)與保養(yǎng)。

油擴(kuò)散泵的性能參數(shù)  (1)極限壓力  油擴(kuò)散泵的極限壓力是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作  的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓力。泵的極限壓力受許多因素的影響，如前級(jí)側(cè)氣體的反擴(kuò)  散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸氣壓、蒸氣流中釋放出來的氣體以及泵壁放氣等。