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 往復(fù)真空泵的工作原理如圖4-1所示。主要部件是汽缸1及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活  塞2?；钊尿?qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)3來(lái)完成  除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5。  運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過(guò)曲柄連桿  機(jī)構(gòu)的作用，使汽缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活  塞在汽缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于汽缸的左  腔體積不斷增大，汽缸內(nèi)氣體的密度減小，而形  成抽氣過(guò)程，此時(shí)容器中的氣體經(jīng)過(guò)吸氣閥5進(jìn)  入泵體左腔，當(dāng)活塞達(dá)到最右位置時(shí)

二極濺射離子泵對(duì)氬的抽速不僅特別低，而且還有上述的氬的不穩(wěn)定性，這主  要是二極泵濺射區(qū)與抽除惰性氣體的掩埋區(qū)在同一塊陰極板上，被掩埋的惰性氣體  屬于物理吸附，很容易被后來(lái)的離子再轟擊出來(lái)。為了克服二極濺射離子泵的缺  點(diǎn)，在二極濺射離子泵的結(jié)構(gòu)上作了一些改進(jìn)，發(fā)展出各種不同于二極泵結(jié)構(gòu)的多  極多電位濺射離子泵

       其他超高真空熱陰極電離計(jì)  4.2.3.1抑制規(guī)  抑制型電離真空計(jì)是通過(guò)安裝在離子收集極附近的抑制電極，使離子收集極發(fā)  射的光電子返回到它自身，來(lái)降低X射線極限值的一種熱陰極電離真空計(jì)。抑制  規(guī)規(guī)管結(jié)構(gòu)如圖4-2所示，由陰極、加速極、離子收集極和帶屏蔽罩的抑制極(屏  蔽極)組成。

1泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔。 

 2.泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中應(yīng)保持油箱內(nèi)油量不得低于油標(biāo)中心。 

3不同種類和牌號(hào)的真空泵油不可混合使用。 

4.泵在使用中溫升不能超過(guò)70℃。