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　　分子泵葉片破碎是什么原因造成的呢?分子泵維修技術(shù)人員總結(jié)分析，造成分子泵轉(zhuǎn)子、靜子打碎的原因有多個，歸納起來主要是以下幾點。

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　　1、錯誤操作：比如突然的破真空，因為轉(zhuǎn)子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會造成葉片變形，這樣可能會造成轉(zhuǎn)子靜子之間的摩擦，導(dǎo)致打碎。

　　2、是異物掉入：沒有安裝過濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設(shè)備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。

　　3、電壓的不穩(wěn)定：這對對磁浮類的分子泵損傷較大。

　　4、前級泵的效率差：分子泵維修提醒，腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。

　　5、分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵，動平衡差，振動就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。

　　6、軸承部分沒有使用原廠的標(biāo)準(zhǔn)軸承，效果和尺寸不標(biāo)準(zhǔn)等。