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擴(kuò)散泵油對擴(kuò)散泵性能的影響至關(guān)重要。理想的擴(kuò)散泵  敞泵油  油應(yīng)飽和蒸氣壓低化熱低、工作穩(wěn)定、高溫下不分解、不吸收氣體、化學(xué)性能穩(wěn)定(與其接觸的材料  不起反應(yīng))、安全無毒,但是直至目前,還沒有研制出這種理想的工作液。水銀是  唯一的可用做泵液的單質(zhì)介質(zhì),它具有化學(xué)性能穩(wěn)定、不分解、不溶解氣體、汽化  熱小、加熱功率低等優(yōu)點(diǎn),最大的缺點(diǎn)是蒸氣壓過高,室溫下(300K)的飽和蒸  氣壓高達(dá).5×10-Pa,必須使用冷阱捕集才能用于高真空、超高真空。采用液氮  冷阱,還要考慮水銀在冷阱上的冷凍問題,如果長期連續(xù)幾天運(yùn)轉(zhuǎn),就可能將鍋爐  中的水銀耗盡而停止工作。另外,水銀有劇毒,又能與某些金屬材料起反應(yīng),帶來  很大的安全防護(hù)問題,目前,除了一些研究機(jī)構(gòu)在小型玻璃系統(tǒng)采用水銀擴(kuò)散泵以  外,所有金屬油擴(kuò)散泵全部采用石油分餾碳?xì)浠衔锖秃铣捎妥鳛楸玫墓ぷ饕骸?nbsp; 現(xiàn)代擴(kuò)散泵的工作液有石油分餾碳?xì)浠衔?、酯類、聚硅氧烷及醚類。石油分餾的碳?xì)浠衔镉蛯儆谳p油類,制造成本低,價(jià)格低廉,但熱穩(wěn)定性、抗氧化性較差,蒸氣壓較高,僅適用于高真空泵。四苯基四甲基三硅氧烷(DC704)、五苯基甲基三硅氧烷(DC705)、混合五環(huán)聚苯醚( Santovac-5, Convalex-10)和全氟  聚醚( Fomblin Y vac)是目前應(yīng)用最多的超高真空擴(kuò)散泵合成油。  表22給出了超高真空用擴(kuò)散泵油的性能參數(shù)

高真空擴(kuò)散泵油的另一個(gè)重要性能參數(shù)是它的熱裂解性能。泵工作在高溫下  會(huì)發(fā)生裂解,抗氧化能力差的泵油生成的高蒸氣壓裂解物,影響泵的極限壓力。若
由于偶然事故,高溫泵油短期暴露大氣時(shí),抗氧化能力強(qiáng)的泵油能很快恢復(fù)原有性  能,而抗氧化性能差的泵油,性能變壞,甚至報(bào)廢。超高真空用擴(kuò)散泵、需要長期  連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的擴(kuò)散泵以及日循環(huán)次數(shù)高的真空設(shè)備,都應(yīng)采用熱裂解小、抗氧化性能  高的硅油、聚苯醚等合成油  測量泵油的抗氧化性能,可在真空系統(tǒng)內(nèi)短時(shí)間反復(fù)充入大氣,直到泵不能正  常工作時(shí)為止。擴(kuò)散泵油的抗氧化性能實(shí)驗(yàn)次數(shù)見表2-3。
從表2-3中數(shù)據(jù)可以看出,硅油的抗氧化性能優(yōu)異,安全性能好, Solbrig曾  將系統(tǒng)內(nèi)純氧壓力增加到1/2atm(1atm=101325Pa),使用DC705和五環(huán)聚苯醚  這兩種油,都不會(huì)引起爆炸。此外,硅油耐熱性好、抽水蒸氣能力強(qiáng)、返油率低  價(jià)格適中,是超高真空油擴(kuò)散泵較為理想的工作液。硅油主要的缺點(diǎn)是在電子、離  子轟擊條件下附著在電極上的油膜會(huì)產(chǎn)生固體聚合硬膜,影響電子器件、電極的性  能,并使真空電離規(guī)管測量誤差增大。硅油的爬移能力強(qiáng),容易污染系統(tǒng)。不能使  用硅油的系統(tǒng)中,可改用五環(huán)聚苯醚、癸二酸氫酯等油代替  全氟聚醚油( Fomblin)是由碳、氟和氧組成的化合物,不含氫和硅,具有低  的蒸氣壓和良好的潤滑特性,熱穩(wěn)定性更好,熱解時(shí)既不會(huì)生成碳?xì)浠衔锖蜌?  也不會(huì)生成硅化物絕緣膜,與大多數(shù)腐蝕性化學(xué)品不起反應(yīng),但在同等加熱功率條  件下,抽速較五環(huán)聚苯醚低,并且價(jià)格較貴。其主要物理性能見表2-4。
不論使用那一種工作液,擴(kuò)散泵工作時(shí)都要特別注意不能放入大氣,否則,氧  化過的泵油,影響泵的極限壓力。嚴(yán)重氧化的油,僅靠泵自身的分餾作用,不能恢  復(fù)它的抽氣性能,需要徹底清洗擴(kuò)散泵所有零件,全部更換新油。常用清洗液,對  氧化嚴(yán)重的泵油可依次使用十氫萘、丙酮和乙醚進(jìn)行清洗或者使用三氯乙烯、丙酮  和乙醚。氧化較輕者,用丙酮、乙醚就可以清洗干凈。聚苯醚油可溶于三氯乙烯,  由于三氯乙烷毒性較三氯乙烯小,清洗聚苯醚油時(shí)可改用三氯乙烷、丙酮和乙醚  全氟聚醚油必須用氟化劑(如三氯三氟乙烷或全氟烷)進(jìn)行清洗。

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