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真空測量的特點及真空計的選用原則 

  真空測量技術具有如下特點:  (1)測量范圍寬。真空技術的發(fā)展已可獲得1.1×105Pa直至10-14Pa,寬達19個數(shù)量級  的壓力范圍。因此不可能依靠一種測量原理和一種真空計來實現(xiàn)整個范圍的真空度測量。不同  種類的真空計對應各自不同的壓力測量范圍,即有不同的量程。  (2)多為間接測量。除了壓力較高的真空區(qū)域(105~10Pa),采用壓力的直接測量外,大  部分低壓空間氣體的測量都是利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導、電離等)進行間接的真  空度測量,因此對相對真空計的校準工作就顯得更為重要  (3)通常采用電測技術。由于間接測量的真空計大都采用非電量電測技術,因此測量反應  迅速,靈敏度高,為實現(xiàn)自動化創(chuàng)造條件  (4)測量值與氣體種類有關。大部分真空計的讀數(shù)與被測氣體的種類和相關成分有關,因此測量時應注意被測氣體的種類和成分,以避免造成誤差  (5)測量精度不高。在間接測量壓力的過程中,往往需要引進外加能量(如熱能、電能  機械能、放射能等等)。由于這些外加能量的引用將不可避免產生測量誤差,而稀薄氣體所能  產生的測量信號本身很微弱。這就決定了真空計的測量精度遠比其他的物理儀器的測量精度  低。因此把真空測量基準儀表和標準儀表的不準確度定為(2~10)×10-2,工作儀表的測量誤  差控制在±20×10-2以內是比較確切的  選用真空計時應考慮如下一些原則  (1)所用設備要求的壓力范圍內,選用的真空計是否有足夠的測量精度,整體性能如何;  (2)被測氣體能否對真空計造成損傷;  (3)所選真空計對被測的氣態(tài)空間能否造成影響;  (4)真空計所測的壓力值是全壓力,還是分壓力,是否已校準,儀器的靈敏度是否與被測  的氣體種類有關  (5)所選真空計能否實現(xiàn)連續(xù)測量,電氣指示以及反應時間如何?  6)儀器的穩(wěn)定性、可靠性、使用壽命如何?
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