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真空測(cè)量的特點(diǎn)及真空計(jì)的選用原則 

  真空測(cè)量技術(shù)具有如下特點(diǎn):  (1)測(cè)量范圍寬。真空技術(shù)的發(fā)展已可獲得1.1×105Pa直至10-14Pa,寬達(dá)19個(gè)數(shù)量級(jí)  的壓力范圍。因此不可能依靠一種測(cè)量原理和一種真空計(jì)來實(shí)現(xiàn)整個(gè)范圍的真空度測(cè)量。不同  種類的真空計(jì)對(duì)應(yīng)各自不同的壓力測(cè)量范圍,即有不同的量程。  (2)多為間接測(cè)量。除了壓力較高的真空區(qū)域(105~10Pa),采用壓力的直接測(cè)量外,大  部分低壓空間氣體的測(cè)量都是利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導(dǎo)、電離等)進(jìn)行間接的真  空度測(cè)量,因此對(duì)相對(duì)真空計(jì)的校準(zhǔn)工作就顯得更為重要  (3)通常采用電測(cè)技術(shù)。由于間接測(cè)量的真空計(jì)大都采用非電量電測(cè)技術(shù),因此測(cè)量反應(yīng)  迅速,靈敏度高,為實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化創(chuàng)造條件  (4)測(cè)量值與氣體種類有關(guān)。大部分真空計(jì)的讀數(shù)與被測(cè)氣體的種類和相關(guān)成分有關(guān),因此測(cè)量時(shí)應(yīng)注意被測(cè)氣體的種類和成分,以避免造成誤差  (5)測(cè)量精度不高。在間接測(cè)量壓力的過程中,往往需要引進(jìn)外加能量(如熱能、電能  機(jī)械能、放射能等等)。由于這些外加能量的引用將不可避免產(chǎn)生測(cè)量誤差,而稀薄氣體所能  產(chǎn)生的測(cè)量信號(hào)本身很微弱。這就決定了真空計(jì)的測(cè)量精度遠(yuǎn)比其他的物理儀器的測(cè)量精度  低。因此把真空測(cè)量基準(zhǔn)儀表和標(biāo)準(zhǔn)儀表的不準(zhǔn)確度定為(2~10)×10-2,工作儀表的測(cè)量誤  差控制在±20×10-2以內(nèi)是比較確切的  選用真空計(jì)時(shí)應(yīng)考慮如下一些原則  (1)所用設(shè)備要求的壓力范圍內(nèi),選用的真空計(jì)是否有足夠的測(cè)量精度,整體性能如何;  (2)被測(cè)氣體能否對(duì)真空計(jì)造成損傷;  (3)所選真空計(jì)對(duì)被測(cè)的氣態(tài)空間能否造成影響;  (4)真空計(jì)所測(cè)的壓力值是全壓力,還是分壓力,是否已校準(zhǔn),儀器的靈敏度是否與被測(cè)  的氣體種類有關(guān)  (5)所選真空計(jì)能否實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量,電氣指示以及反應(yīng)時(shí)間如何?  6)儀器的穩(wěn)定性、可靠性、使用壽命如何?
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