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    為了滿足以平導體、電子工業(yè)為代表的最工藝對無川  4.6多級羅  式真空  獲得設備得以開  發(fā)及廣泛應  F式羅真空泵以其抽速大、對工作條件要  較寬松等優(yōu)點在干泵市場中占有重要的地位  而在于式羅茨泵當中,則是以多級羅茨空  為主  美日等真空技術比較發(fā)達的  出多級羅茨泵的系列產品,見圖
應用于半導體及化工工業(yè)  所謂“多級”是相對于傳統(tǒng)意義上的“單  級”羅茨泵而言的,即在轉子軸上串聯(lián)多級羅  茨型轉子(如圖了65所示為五級轉子單聯(lián)的
圖704日本ANET株式會社生產  多級羅茨泵  獨立的泵腔,各級泵腔之間通過上一級的進氣  口和下一級的推氣口間的氣流通道相連接。各級轉子的直徑和形狀是相同的,而各級轉子的  度有時是不同的,向高壓側方向變窄了。為了增加壓縮比,使用圖7-65所示的氣冷式三葉轉  子.被抽氣體從第一級的進氣口進入泵腔,經一級壓縮后,通過氣流通道進入下一級泵腔中  續(xù)壓縮,氣體經過如此逐級壓縮,最后從最后一級的排氣口排出。簡言之,“多級”就是“多  級轉子”,“多級系腔”,“多級壓縮

圖765五級三葉羅茨型轉子軸
多級羅獲泵通過多級轉子的串聯(lián)實現(xiàn)多個羅茨泵串聯(lián)的效果,由于是串聯(lián),所以多級羅茨  泵并不能比單級羅茨泵擁有更大的抽速,其理論抽速是取決于第一級的理論抽速。但是,這種  結構卻可以使羅茨泵達到很高的壓縮比,因此,多級羅茨泵是可以作為主泵直排大氣,而無需  再配置前級泵,這樣就可以避免前級泵環(huán)節(jié)給系統(tǒng)帶來的油氣污染。3~6級的羅茨泵可從大  氣壓抽到極限壓力Pa,如此高的壓力差會使轉子過熱膨脹,而產生卡死現(xiàn)象,所以要在高壓  段對轉子進行氣冷,以控制轉子的溫度不超過其允許范圍。一般的氣冷方案是使從各級的排氣  口排出的氣體流經冷卻器冷卻,再返回到該級的工作腔中,利用冷卻氣體來冷卻轉子。當然  這種冷卻方法是要以損失羅茨泵的抽速為代價的。為了防止軸承和齒輪的潤滑油向泵腔內返  流,多級羅茨泵的泵腔和齒輪箱之間隔開或用迷宮式結構加以密封,為了提高無油的程度,齒  輪箱也有另外用真空泵排氣的情況。