正宇真空設備
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給出了羅茨轉子加爪式轉子的四級泵和全為爪式轉子的四級泵的性能曲線。二者抽速最大值對應的入口壓力值不同。二者的極限壓力相差不大,均在1Pa以下。羅茨加爪式轉子組成的四級泵,其抽氣性能較好,由圖
7-77可以看出:在人口壓力為1~100Pa之間和103~105Pa之間,羅茨加爪式轉子的四級泵抽 氣性能優(yōu)于全爪式轉子的四級泵。只當入口壓力為102~103Pa之間,全爪式轉子的四級泵的 抽氣性能較好 般的無油干式泵和油封機械泵相比,其壓縮比較小,要克服高的壓力差,向大氣直接排 氣,還要抽除大量的顆粒物,因此選擇有效的抽氣機構是非常重要的。爪式泵有高的容積效率 和內(nèi)壓縮,轉子可高速無接觸的運轉,是實現(xiàn)干式抽氣較好的抽氣機構,但它也需要多級串聯(lián) 方能達到所需的極限壓力 爪式轉子除能壓縮氣體之外,還有轉子自行開閉的閥門作用,即可周期地開閉泵腔的入口 和出口。由于有內(nèi)壓縮和這種閥門作用,可實現(xiàn)高的壓縮比和高的容積效率。在功率消耗低的 情況下有較高的抽速。被抽氣體的種類對壓縮比的影響較小。轉子與泵體之間的間隙較大,小 顆粒物很容易被抽除。這種抽氣原理的干式泵,目前我國已有多家生產(chǎn) 圖7-78所示為全爪式轉子的四級泵的結構示意圖。 該泵的主軸為垂直安裝,氣流可從頂部向底部流動,這樣的布置有利于顆粒物及液體的排 放。泵內(nèi)各級的壓力分布如圖779所示。第一級的壓力比為3,第二級的壓力比為5,第三級 的壓力比為10,第四級的壓力比為7。各級泵腔的抽氣容積除第一級較大外,其他各級均相 等。由于抽氣過程在各級間隙的返流所處的流動狀態(tài)的不同,其各級反流情況也不盡相同,各 級所能達到的壓縮比也不相同。
南國浪子:
合級壓 在中間各級的排氣口出現(xiàn)沉積物時,在這些部位上使用可拆的管道,用快速接頭連接,不 必拆開整臺泵就能對泵清洗。軸承和密封處用水冷卻,中間部分用空氣冷卻。這樣可使轉子和 泵體的溫差小。與被抽介質(zhì)接觸的表面耐腐蝕。轉子由馬達和齒輪轉動,軸承和齒輪處有潤
滑。選用一種特殊的活塞環(huán)密封裝置,以防潤滑油蒸氣向泵腔內(nèi)泄漏。該泵四級為層狀結構, 檢修方便,定位精度高。 為了安全運行,泵入口處設有過濾網(wǎng),灰塵收集器及消聲器。 整個泵可裝在一個罩內(nèi),對其進行吸氣,以防被抽氣體的外泄。這種泵裝有4個小滾輪, 移動方便.
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