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   ①鈦泵以鈦升華泵為主是獲得高真空或超高真空的泵種之一,工作壓力范圍為0.13  1×10Pa,啟動(dòng)壓力為1.3Pan,但它不能單獨(dú)使用,若配置無油泵或分子篩吸附泵為前級(jí)  泵可獲得全無油的超高真空。若配置帶吸附阱的機(jī)械泵或帶冷阱的擴(kuò)散泵機(jī)組可獲得近似無

油的超高真空  ②電離升華泵結(jié)構(gòu)簡單、體積小、制造方便。既有鈦升華泵的特點(diǎn),能使鈦加熱到  120℃升華,來抽除活性氣體,又具備濺射離子泵的特點(diǎn),對(duì)惰性氣體電離抽氣,且不用磁  場而獲得高效率的抽氣作用。但它的缺點(diǎn)是電離抽氣與鈦損耗之間有矛盾,要提高惰性氣體  抽速、勢必加高陽極電壓,提高發(fā)射電流,因此使鈦的損耗增大,泵的壽命縮短。欲增加鈦儲(chǔ)量,延長泵的壽命,陽極要變粗,電子軌道變短,電離抽速下降。這種泵的直徑越小所需  極電壓越高,電離轟擊陽極會(huì)產(chǎn)生有害于人體的X射線,為此該泵不適宜作大泵
③鈦泵工作時(shí)不能突然沖入大氣,由于密封元件失效或測量用真空計(jì)玻璃規(guī)管斷裂,就會(huì)燒壞蒸發(fā)器的加熱絲,嚴(yán)重時(shí)需要重新更換蒸發(fā)器和清潔沉積在泵壁內(nèi)表面的被氧化的鈦膜
④鈦泵工作后最重要的維護(hù)工作是停泵后關(guān)閉抽氣閥門,使泵處于真空狀態(tài),盡可能  避免長期暴露大氣
泵壁鈦膜過厚或起皮脫落影響抽速或極限壓力時(shí)需要清除鈦膜。可根據(jù)泵壁大小決定采  用機(jī)械砂磨或化學(xué)方法清理,這種需要定期清理鈦膜的缺點(diǎn)是影響蒸發(fā)鈦泵廣泛應(yīng)用的最主  要因素.