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真空泵所用鋼材應(yīng)選用不銹鋼。

 ①擴散泵系統(tǒng)油擴散泵是獲得超高真空的重要泵種,但必須很好地解決污染,否則  無法獲得超高真空。  擴散泵系統(tǒng)的污染主要來自擴散泵油的返流,機械泵油的返流,以及擴散泵油加熱分解  產(chǎn)生的永久性氣體,如氫、甲烷、乙烷等的返流。擴散泵油返流原因、影響及防止在第4章  論述,這里不再贅述。分解產(chǎn)生的永久性氣體用液氮冷阱是無益的,應(yīng)使用鈦升華阱,使用  鈦升華阱得到了10-Pa的真空度
減少機械泵油的返流有三種方法:a.在粗抽管道中加液氫冷阱,是一種最有效的方法  b粗抽管道上安裝充氣閥、充入干燥氮氣,使真空室保持到15-30Pa真空度:c.不用粗抽  管道,通過擴散泵進行粗抽  般來講,污染控制較好的真空系統(tǒng),可得到10-0Pa的真空度  ②渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)高壓縮比的渦輪分子泵,以雙級旋片式真空泵為前級,可得  到5×10-Pa的真空度,用擴散泵作前級,可得到10-Pa真空度。泵人口安裝上鈦升華  陰,獲得的真空度高于10-Pa  渦輪分子泵對氫的壓縮比較小,殘余氣體中主要是氫。泵的極限氫分壓受泵的壓縮比和  前級管道中氫分壓的限制,采用擴散泵作前級,可降低前級管道中的氫分壓,進而可提高泵的極限真空  渦輪分子泵內(nèi)表面積大,烘烤出氣是非常必要的。由于結(jié)構(gòu)限制,一般只允許烘烤到00℃左右  為了消除粗抽時的污染,可以通過渦輪分子泵進行粗抽,在這種情況下,要求機械泵有  足夠大的抽速,使渦輪分子泵轉(zhuǎn)速達到額定轉(zhuǎn)速的75%時,就能將真空室抽到20~200Pa  般渦輪分子泵的加速時間為5~10min,這意味著機械泵排氣時間必須小于這個范圍,  ③濺射離子泵抽氣系統(tǒng)濺射離子泵通常與鈦升華泵聯(lián)合使用。濺射離子泵的殘氣中  主要成分是氫,而鈦升華泵抽氫效果最好。一般中小型真空系統(tǒng)以濺射離子泵作主泵;而大  型系統(tǒng)以鈦升華泵作主泵。用這種機組可得到10-Pa的真空度  在超高真空系統(tǒng)中,要求濺射離子泵要徹底烘烤。如果真空室已進行了高溫烘烤,那么  泵只需要250℃烘烤,真空度到10-5Pa后,緩慢升到250℃,時間為10~20h,  ④低溫泵抽氣系統(tǒng)低溫泵對不銹鋼制造的超高真空容器排氣很適合。20K的低溫泵  可得到10-8Pa的真空度,4.2K的低溫泵,可得到10-10~10-12Pa的真空度  低溫泵系統(tǒng)不產(chǎn)生碳氫化合物、金屬膜的剝落碎片或自身帶來的其他污染。在超高真空范圍,低溫泵是可以取代其他類泵的一種清潔抽氣手段