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維修資訊 -> 小型制冷機(jī)低溫系統(tǒng)簡(jiǎn)介 小型制冷機(jī)低溫泵的啟動(dòng)壓力受制冷功率限制,不能在大氣壓下工作,可根據(jù) 對(duì)真空清潔程度的要求,將系統(tǒng)壓力粗抽到100-101a即可啟動(dòng)制冷機(jī)壓縮機(jī) 達(dá)到規(guī)定的制冷時(shí)間后即可關(guān)閉前級(jí)粗抽閥門停止粗抽,打開高真空閥切換到低溫 泵抽氣。低溫泵進(jìn)氣口允許的最高壓力稱為轉(zhuǎn)換壓力(與二級(jí)冷頭制冷功率和被抽 容器體積有關(guān)),應(yīng)按照廠家給出的轉(zhuǎn)換壓力進(jìn)行操作,過高的轉(zhuǎn)換壓力會(huì)影響制冷機(jī)低溫泵的正常工作 小型制冷機(jī)低溫泵與濺射離子泵相比,啟動(dòng)容易,能抽除大量氫氣,不存在高的往復(fù)運(yùn)動(dòng),會(huì)引起輕酸的振動(dòng),系統(tǒng)配置電子能諧儀、二次離子諧儀和其他表面分析儀時(shí),需要采用有效的減振措施 低溫泵進(jìn)氣口冷板溫度遠(yuǎn)低于真空容器的壁溫,這種溫度場(chǎng)對(duì)泵口附近的氣體 分子的空間分布有明顯的改變,會(huì)影響真空計(jì)的測(cè)量精度,嚴(yán)重時(shí)誤差接近一倍之 多。同理,不同溫度表面蒸發(fā)出的分子速度不同,待別是低溫面較大的系統(tǒng)(如空 間環(huán)模設(shè)備)很難闡述系統(tǒng)中壓力的確切意義,這是在進(jìn)行表面分析研究時(shí)需要特別關(guān)切的問題
低溫泵另一問題是制冷機(jī)能力有限,容易受長(zhǎng)波紅外線的輻射影響,試件或生 產(chǎn)工藝用加熱器進(jìn)行加熱時(shí),對(duì)低溫表而需設(shè)計(jì)熱屏蔽(如泵口加裝水冷擋板等)要求熱屏蔽的設(shè)計(jì)既要具有良好的屏蔽效果又要不使泵的抽速過度降低
使用小型制冷機(jī)低溫泵最值得注意的問題是停止泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的安全問題。整個(gè)運(yùn)轉(zhuǎn)期間所抽除的氣體都被冷凝吸附在泵內(nèi),停止運(yùn)轉(zhuǎn)后隨著低溫板的升溫,被抽氣體將全部釋放出來,形成的高壓氣體一旦超過泵體的機(jī)械強(qiáng)度,可能發(fā)生爆炸事故。對(duì)于小型的超高真空系統(tǒng),運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間很短,抽出的氣量很少,所有的氣量都不足以形成高于大氣壓,停泵后可以不用前級(jí)泵將釋放的氣體抽除,等下次啟動(dòng)低溫泵時(shí)再預(yù)抽釋放的氣體。如果抽氣時(shí)間很長(zhǎng),抽氣量很大,停泵時(shí)必須打開前級(jí)泵抽除釋放的氣體,直到二極冷頭升溫到安全溫度,才能全部停掉抽氣系統(tǒng)。不論何種情況,都要經(jīng)常檢查維修過壓安全閥,一且釋放的氣壓過高,能夠自動(dòng)排向大氣,確保泵體安全。
另一個(gè)安全問題是不能用低溫泵抽除像H2、O2混合的危險(xiǎn)氣體或SiH4這種自燃?xì)怏w,否則會(huì)存在爆炸安全隱患。最好安裝能將低溫泵釋放的氣體排出室外的排氣管道,作為安全防護(hù)的第二道防線
正宇真空設(shè)備zhengyu Vacuum equipment