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分子吸附泵的結(jié)構(gòu)形式
子很泵的結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足如下條件,1)使分子篩能得到充分冷卻,通常采用一些  面或液氳管,冷卻較深部位的分子師2)使氣體易于深入分子篩內(nèi)部。通常用一些金屬  網(wǎng)分子,以持氣體有一定的通導深人泵的內(nèi)部:3)節(jié)省液氮的消耗量,4)易于對分  子加熱兩生5)因為分子篩在液氮溫度下吸周大量的氣體,當溫度回升時,所吸氣體會  慢地放出來,使泵內(nèi)形成幾十倍于大氣壓的高壓,會造成破壞事故。因此必須設(shè)安全網(wǎng),當壓  力超過大氣壓時自動打開
吸附泵的結(jié)構(gòu)因冷卻方式不同,可分為內(nèi)冷式和外冷式  9.3.3.1內(nèi)嶺式
圖9-21為一臺內(nèi)冷式吸附泵結(jié)構(gòu)示意圖  泵外殼由不銹鋼制成,在泵殼內(nèi)安放著導熱性能  線
好的液氫容器,容器外側(cè)焊有許多導熱性能良好  的無氧鋼翼片,以保證分子篩能得到充分而均勻  的冷卻和烘烤,液氮置于容器內(nèi)。翼片四周有鎳  液氤  問或不銹鋼制成的網(wǎng)圍住,防止分子篩散漏掉  5A分子  翼片間距適當(一般為6mm),以保證分子篩的  再生電爐  充分冷卻泵殼是一個具有真空夾層的雙層壁。  無氧錒翼片
泵使用時,把泵與被抽系統(tǒng)接通,再由上蓋  N網(wǎng)或不銹鋼網(wǎng)  板的液氮注入孔將液氮灌入容器,置于翼片上的  分子篩便被冷卻,分子篩便大量吸氣,抽吸被抽  不銹鋼外殼
系統(tǒng)中的氣體,使系統(tǒng)達到一定的真空度。被抽  成真空。被抽吸的氣體貯存在分子篩吸附劑內(nèi),因此這種泵吸附直到分子篩飽和為止  圖9-21內(nèi)冷式吸附泵的結(jié)構(gòu)  分子篩真空泵需加熱再生,待再生完畢后再次使用。再生時,將泵與被抽系統(tǒng)切斷,停止
      供給液氮,則液氮蒸發(fā)完后,容器升溫,吸附劑吸入的氣體將重新釋放出來,得到解吸活化  當氣體放出后使泵內(nèi)壓強高于大氣壓,這時氣體將把安全閥上的橡皮塞子沖出,排入大氣中  再生時也可由液氮注入口插棒狀電熱器,通電加熱,如對分子篩可加熱至300~350℃,一般  子篩脫水溫度為300~350℃,時間為0.5~1h。若用幾次后分子篩吸氣能力明顯衰退,則需  在500-550℃下加熱激活  般的吸附泵,分子篩裝量約為1kg,可以把50L的

如果兩臺吸附  容器由大氣壓抽到1Pa,液氮消耗約為  真空和吸氣容量都較高;消耗的液氮較少;附件少(不需引  泵串聯(lián)使用(采用二級抽氣),可以達到5×10-2Pa以下。  內(nèi)冷式吸附泵的優(yōu)點:分子篩能充分冷卻,因而極限  要外附液氮套);再生電爐功率小。缺點是加工較復雜  9.3.3.2外冷式  圖922給出兩種外冷式吸附泵的結(jié)構(gòu)示意圖。泵殼  是一個不銹鋼圓筒,焊上輻射狀銅制的導熱片或液氮冷卻  管,以保證分子篩冷卻良好。泵的中心安放一個頂端封閉  的圓柱狀金屬網(wǎng)筒,以保證氣路暢通。分子篩放在這些導  熱片(或液氮冷卻管)與網(wǎng)筒之間。吸附泵套上一只塑料  筒盛放液氮;分子篩需加熱再生時,把它卸下,另裝  “穿衣式”電爐加熱。

圖9-22外冷式吸附泵的結(jié)構(gòu)  這種類型的吸附泵,單泵抽50L體積,從大氣壓開1-液氫套,2一液氮;3-導熱片  ,可達1Pa。雙級串聯(lián),可達10-1Pa。雙泵的液氮消4分子篩;5不銹鋼(銀、鎳)網(wǎng);

6—液氮冷卻管;7一安全閥  耗量約為8~10L。  這種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點是加工簡單,漏氣可能性小,循環(huán)啟動方便。缺點是液氮消耗量大,附件  多,分子篩的冷卻不夠好,因此吸氣容量和極限真空都較內(nèi)冷式差些