正宇真空設備
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(1)泵的幾何抽速
當除從圖442得知、由于轉千的不斷旋轉,被抽氣體從吸氣口進入泵腔,被封閉在吸氣腔 v之內、再經(jīng)排氣口排出泵外,由于在吸入V??臻g內的氣體沒有被壓縮,當轉子的頂部轉 口邊緣時,V空間這時與排氣側相通,由千1氣側氣體壓力較高,有部分高壓氣體 流到V空間內,使泵腔內的壓力突然升高達到排氣壓力。此即所謂的外壓縮過程,轉子 續(xù)旋轉時,被抽氣體被排出泵外,兩個轉子的不斷運轉,即實現(xiàn)了羅茨泵的抽氣過程,轉 的主軸旋轉一周,共排出四個V。容積的氣體,因而,泵的幾何抽速為
…=4260=2xR21nkn10(L./s (4-41)式中n泵軸的轉數(shù),r/mm; R—轉子的半徑
1—轉子的長度
轉子斷面系數(shù),已知轉子斷面形狀后,k0值便可確定 為了避免羅茨泵的誤操作,一般多設有旁路溢流閥。由泵的許可壓力差△P來設計旁路 溢流閥,可在大氣壓力下啟動,使羅茨泵和前級泵同時連續(xù)運轉,因而對容器的抽氣時間大 為縮短(達30%-50%),其結構如圖441所示
在旁路溢流閥打開期間,羅茨泵的抽速為
式中5、前級泵抽速
泵出口壓力
pA泵人口壓力;
△p—泵的溢流閥的許可壓力差,△p=P、PA
前級泵抽速
泵出口壓力
泵人口壓力
△P泵的溢流閥的許可壓力差,△P=P,一P 從式(4-42)可以看出,羅茨泵的抽速隨人 口壓力pA下降而有所增加,故可縮短啟動時間 從圖4-46得知,曲線1為前級泵的抽速曲線 線2為羅茨泵在13hPa時啟動的抽速曲線,曲線 為帶溢流閥的羅茨泵抽速曲線,圖上4為有溢流 閥工作,增加的抽速部分因而,有溢流閥的羅茨 泵可縮短啟動時間 2)羅茨泵的有效抽速氣量
羅茨泵的有效抽氣量Qn可從理論抽氣量Q p/hP 和通過間隙從排氣側向吸氣側返流量Qv之差來確 圖446羅茨泵有、無溢流閥時抽速的比
當羅茨泵的入口壓力為PA時,理論抽氣量Q則為
對于羅茨泵的返流量Qv,可由兩部分組成。即式中Q 轉子與泵體間的間隙泄漏量
若間隙的流導為L,前級壓力為p、,則
子全部人舊級側,而 快,沒
到高真空倒被解 由于羅皮聚的轉子 子暗合處的空圖容積,即所謂的有害空間內的氣體被帶回到高真空側,這部分返流線和 真空例,引起返,如轉子 Q即
轉子返流速率 四此、有抽氣量Q則可用下式計算 (3)軍流量時壓蠟比 將羅口封閉,使Qm=0,由式(4-48)可得出 零流量壓縮比K。是羅茨泵最重要的性能參數(shù)
它可通過測量得到,它與氣體種類 有關。壓縮比K。的最大值用Kamx表 羅茨泵的零流量壓縮比K0與出口壓力的關 N側第二項小于,故近似將式4101) 447所示,因為K0通
因而,式(4 較大,因而,的返流作 流作用相比可以略去,因而 圖
前級壓
在p,<10-1hP 的返流作用小于s,的返流 K 較高的
在這時有所增加,因而壓縮比K 滯流態(tài),流導 在向高的戶,方向上有所下降。在低的p,條件下,流導L處于分子流狀態(tài)是定值,這時受s 的影響,K0在向低的p,方向上也是降低的。而在p≈1hPa附近K。有最大值Komx出現(xiàn) 如圖4-47所示 泵的尺寸增加使泵的s1比L增加的快,因此大容量的羅茨泵的K。也有所增加 447上也能看出,大泵的K0較高, pA.。(在羅茨 羅茨泵的極限壓
用前級泵的極限壓力 和前級泵構成機組 比來求得 和與其相對應的
K
(4-53) K0=10,故羅茨泵的極限壓力為p,=1×10-3hPa 雙級羅茨泵的壓縮比約等
)這時對 例如p=1×10-2hPa,對于 RUVAC WA1000泵來說(見圖4-47 壓力
壓縮比的連級某可得到更低的極限
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