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    磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)是利用離子在垂直于磁場(chǎng)的平面運(yùn)動(dòng)中，不同質(zhì)量的離子有不同  偏轉(zhuǎn)半徑的原理來(lái)實(shí)現(xiàn)質(zhì)量分離的。用于真空測(cè)量的磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜應(yīng)具有體積小、真  空性能好、便于真空系統(tǒng)安裝等特點(diǎn)，其結(jié)構(gòu)通常選用60°、90°、180°三種偏轉(zhuǎn)角  形式。圖4-14所示為180°磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)結(jié)構(gòu)原理  具有質(zhì)荷比為m/e的離子從離子源引出，經(jīng)加速電壓U加速后，以一定速度v

 
壓力  皿人分析租場(chǎng)，離子的速度可以用公式(4-15)描述
mv/2-U  離子在重直于磁場(chǎng)的平面中作圓周運(yùn)動(dòng)，其半徑為R,離子受到的離心力和題  場(chǎng)對(duì)它的作用力相等，即
mU/R- BeU  式中  磁感應(yīng)強(qiáng)度，T  (4-16)  偏轉(zhuǎn)質(zhì)謂計(jì)的基本方程可以用公式(4-17)表示

成表示為  0-1R2B2/U  (4-17)
R=1.436×10  AU/B2)1/2  式中R—離子偏轉(zhuǎn)半徑  (4-18)
單電荷離子質(zhì)量
U—離子加速電壓，V
在離子加速電壓和磁場(chǎng)感應(yīng)強(qiáng)度不變條件下，一定質(zhì)量的離子偏轉(zhuǎn)半徑是確定  的。由于離子出口的狹縫很窄，只有某一質(zhì)量的離子通過(guò)狹縫被離子收集極接受。  其他質(zhì)量的離子則不能通過(guò)狹縫。在恒定磁場(chǎng)感應(yīng)強(qiáng)度條件下，利用連續(xù)掃描加速  電壓方法在離子收集極上可以收集不同質(zhì)量的離子，得到完整的質(zhì)譜。也可以固定  離子加速電壓利用掃描磁場(chǎng)的方法得到質(zhì)譜。真空質(zhì)譜計(jì)通常采用掃描離子加速電  壓方法，磁場(chǎng)采用永久磁鐵方法產(chǎn)生
磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)諧計(jì)的分辨本領(lǐng)可用公式(4-19)表示
M/△M=R[1+s2+R(a2+△UU+2△B/B)]  (4-19)式中s—離子源離子出口縫隙寬度，cm;
s2—離子收集極入口縫隙寬度，cm;
a人射離子束分散角；
△U/U—離子加速電壓不穩(wěn)定度；
△B/B磁場(chǎng)的不穩(wěn)定度。
離子源離子出口縫隙寬度s1和離子束分散角a的加大，使離子源進(jìn)入分析場(chǎng)的離子也增多，從而提高儀器的靈敏度，但同時(shí)也降低了分辨本領(lǐng)。提高離子加速電壓穩(wěn)定度和磁場(chǎng)的穩(wěn)定度，可以提高儀器的分辨本領(lǐng)。在真空質(zhì)譜計(jì)設(shè)計(jì)中，通常希望在保證一定分辨本領(lǐng)的條件下，得到較高的靈敏度。
扇形磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)，其基本原理和180°偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)相同，在真空質(zhì)譜計(jì)中常選用扇形磁偏轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，它具有以下特點(diǎn)。
①儀器的離子源、分析器、離子收集極三部分可以單獨(dú)處理和分別調(diào)整，此儀器的總指標(biāo)要遠(yuǎn)高于180°偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)
②扇形磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)由于只使用一部分扇形場(chǎng)，所以減小了磁鐵的體積重量。
③設(shè)計(jì)中允許采用較大的離子束偏轉(zhuǎn)半徑，有利于提高分辨本領(lǐng)。
④離子收集極可以處于磁分析場(chǎng)外，因此可以采用電子倍增器作離子收集從而提高儀器靈敏度。
磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)的優(yōu)點(diǎn)為：
①質(zhì)譜峰形好、質(zhì)量歧視效應(yīng)小、對(duì)污染不敏感。這些特點(diǎn)滿足質(zhì)譜計(jì)定量  測(cè)量要求，適用于分壓力測(cè)量。  ②扇形磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)的離子檢測(cè)器可以采用電子倍增器，因此儀器具有較高  靈敏度，儀器最小可檢分壓力可以達(dá)到10-1Pa  ③結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制造方便，小型90°扇形磁質(zhì)譜，可以做得體積很小，適用于高  真空、超高真空的殘余氣體分析。  磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)的缺點(diǎn)為：  ①需要磁鐵。在真空系統(tǒng)烘烤時(shí)，需要將磁鐵移開，烘烤后重新安裝磁鐵，  由于磁鐵位置改變，必須對(duì)儀器參數(shù)進(jìn)行調(diào)整。  ②儀器的質(zhì)量掃描，最常用方法是通過(guò)改變離子加速電壓來(lái)完成，質(zhì)量數(shù)的  定標(biāo)和掃描電壓成非線性關(guān)系
③質(zhì)譜計(jì)探頭不能做成裸規(guī)形式安裝在真空系統(tǒng)中，因此不能進(jìn)行真空的原  位置測(cè)量。

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