正宇真空設(shè)備
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把抽氣低溫面(包括低溫?fù)醢?組裝在閉合的深低溫循環(huán)系統(tǒng)中,就構(gòu)成小型 制冷機低溫泵。小型制冷機低溫泵通常采用兩級(或三級)制冷的氦封閉循環(huán)制冷 機,選用這種制冷機的原因是它在7K和15K時能提供抽除真空室氣體所必需的 制冷功率,各類制冷機能提供的制冷功率范圍如下。 ①吉福特麥克馬洪循環(huán):Tm=7K、20K的制冷功率為1~20W。 ②斯特林循環(huán):Tmn=12K、20K的制冷功率為10~400W ③布雷敦循環(huán)(氣體制冷循環(huán)):20K的制冷功率為0.1~10kW。 ④克勞德循環(huán)(液體循環(huán)):4K的制冷功率為0.1~10kW。 適用于小型低溫泵的制冷循環(huán),見表2-35。其中用得最多是吉福特麥克馬 洪循環(huán)(GM循環(huán))。無負(fù)荷時一級冷頭可獲得7K的低溫,20K時制冷功率為 1~20W。吉福特麥克馬洪循環(huán)的突出優(yōu)點是:活塞往返頻率低(50~100Hz), 壓縮比低(3~4),這樣就保證了運轉(zhuǎn)時振動小、活塞機械負(fù)荷小和使用可靠 性高。
特林( Stirling)循環(huán),一級冷頭最低溫度12K、20K時制冷功率10 400W,制冷循環(huán)的平均壓力高(30bm,M=105Pa)工作頻率高,熱力學(xué)效率 高,但斯特林循環(huán)制冷機的振動較大,多用于大抽速低溫泵。 2.4.11.1GM循環(huán)制冷機的工作原理 GM循環(huán)制冷機將壓縮機和膨脹機分開,前者作為氣源,后者產(chǎn)生制冷效應(yīng) 中間用閥門控制膨脹機的工作。與斯特林制冷機相比,效率低,體積和質(zhì)量大,但 它的主要優(yōu)點是壓縮機的機械振動傳不到冷頭,并且兩部分分開后容易制造,膨脹 機部分很緊湊,使用方便。由于活塞運動速率很低(50~500r/min),汽缸和膨脹 活塞之間的間隙大,膨脹活塞兩面的壓差小,對密封要求低,壓縮機用油潤滑,這 就大大提高了膨脹機的使用壽命,目前這種制冷機的維修周期可達(dá)3000h,壽命上 萬小時。
GM循環(huán)制冷機由吉福特( Gifford)和麥克馬洪( McMahon)于1959年提 出,其基本組成部分是壓縮機、膨脹機及油吸附器等裝置,單級GM循環(huán)制冷機 流程如圖2-59所示。壓縮機的作用是把從膨脹機來的低壓氣體進(jìn)行壓縮,提供高壓力的工質(zhì)(氦氣)?,F(xiàn)代壓縮機大都使用油冷卻和潤滑的旋片式全封閉氦壓機以 及必要的冷卻和過濾凈化裝置。膨脹機的作用是使常溫高壓氣體在它內(nèi)部絕熱膨脹 制冷,為使它有效地工作,除膨脹機汽缸需要采用真空絕熱技術(shù)外,還要使膨脹機 內(nèi)的活塞運動和進(jìn)氣閥門、排氣閥門的啟閉構(gòu)成一定的邏輯關(guān)系。氦氣經(jīng)壓縮機壓 縮為高溫高壓氣體,與冷卻器熱交換后再經(jīng)過油分離器、油吸附器變?yōu)楦呒兌雀邏撼睾?,?jīng)進(jìn)氣閥進(jìn)入制冷機汽缸,絕熱膨脹做功后再經(jīng)排氣閥流入壓縮機,形成封閉循環(huán)。汽缸中的活塞驅(qū)動方式有機械和氣動兩種,機械驅(qū)動采用低速電機帶動兩個偏心輪(按一定角度配置)和活塞曲軸,使進(jìn)、排氣閥按一定的配氣角交替開啟、關(guān)閉,同時曲軸帶動活塞做上下往復(fù)運動,使GM循環(huán)制冷系統(tǒng)內(nèi)的壓力產(chǎn)生周期性變化,其制冷流程壓力容積關(guān)系曲線如圖2-60所示。單級GM制冷機的制冷原理如下。
當(dāng)活塞運動到下死點(冷腔容積接近于零,熱腔體積最大)位置6時,進(jìn)氣閥 打開(排氣閥關(guān)閉),常溫高壓氦氣充人熱腔和蓄冷器,氣體壓力從位置6突然升 高到位置1,氣體壓縮熱在冷腔接近于零。接著活塞變?yōu)橄蛏线\動,熱腔中常溫高 壓氦氣經(jīng)過蓄冷器被冷卻后進(jìn)入冷腔,這時氣體比體積隨之減少,壓力降低,常溫 高壓氦氣經(jīng)進(jìn)氣閥不斷補入,氣體壓力如線段1-2,維持壓力不變。當(dāng)活塞運動到 接近上死點位置2時,進(jìn)氣閥關(guān)閉,充氣結(jié)束?;钊^續(xù)向上運動,工質(zhì)壓力沿曲 線2-3下降,直到活塞運到死點位置3,排氣閥打開,冷腔中的低溫高壓氦氣與壓 縮機進(jìn)氣端接通,氦氣絕熱膨脹制冷,獲得凈冷量,壓力變化為3-4。之后,活塞 向下運動,冷腔中的低壓冷氦氣經(jīng)過蓄冷器,使蓄冷器內(nèi)的填料溫度進(jìn)一步降低, 分別流入熱腔和壓縮機的進(jìn)氣端,壓力維持不變(4-5)。當(dāng)活塞運動到接近最低位 置時,排氣閥門關(guān)閉,氣體壓力沿5-6升高,活塞回到位置6時,進(jìn)氣閥門打開, 開始下一個循環(huán)。每次循環(huán)中,通過進(jìn)氣閥經(jīng)過蓄冷器冷卻流入冷腔高壓氦氣的初 始溫度比上個循環(huán)更低,因而冷腔中絕熱膨脹階段以后的溫度也就更低,從而進(jìn) 步冷卻冷腔壁和蓄冷器內(nèi)填料,這樣,經(jīng)過多次循環(huán),溫度不斷降低,直到熱量的 動平衡建立為止 為了使制冷機的結(jié)構(gòu)緊湊,在小型制冷機中將活塞組合為一差動活塞(包括三 級結(jié)構(gòu)在內(nèi)),蓄冷器放在活塞內(nèi)。用于低溫泵二級制冷GM循環(huán)制冷機的缸體內(nèi) 部結(jié)構(gòu)如圖261所示