分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。分子泵在使用過(guò)程中可能會(huì)出現(xiàn)一些故障問(wèn)題，讓操作人員束手無(wú)策。下面，和大家分享分子泵各種常見(jiàn)故障的維修方法。

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　　1、分子泵為何會(huì)發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象?

　　原因：附近有光照或其他熱源。

　　分子泵維修方法：避免光照或熱源。

　　2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請(qǐng)問(wèn)油為什么發(fā)黑?或者多長(zhǎng)時(shí)間油才會(huì)變黑?

　　原因：冷卻不良，負(fù)載太大。

　　維修方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)。

　　3、分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此,請(qǐng)問(wèn)該現(xiàn)象如何解釋?

　　原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不夠。

　　分子泵維修方法：檢查系統(tǒng)。

　　4、分子泵軸承為什么會(huì)燒毀?

　　原因：①缺乏定期維護(hù);②冷卻不良導(dǎo)致過(guò)熱;③沒(méi)有及時(shí)換油;④抽除的氣體中含有大量粉塵。

　　維修方法：①及時(shí)維護(hù);②檢查冷卻系統(tǒng);③及時(shí)換油;④隔離粉塵。

　　5、有防護(hù)網(wǎng)保護(hù),為什么還會(huì)有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)?

　　原因：防護(hù)網(wǎng)破裂，前級(jí)管道破裂。

　　維修方法：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)。

　　6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道?

　　原因：油池破裂或密封不良。

　　分子泵維修方法：檢查油池。

　　7、正常使用下，為什么分子泵油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形?

　　原因：過(guò)熱，負(fù)載大。

　　維修方法：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)。

　　8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請(qǐng)問(wèn)是否對(duì)分子泵的使用有影響?應(yīng)如何解決?

　　原因：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對(duì)分子泵沒(méi)有影響。

　　維修方法：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對(duì)分子泵沒(méi)有影響。