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慢性漏氣的加速檢測(cè)法  對(duì)電視顯像管、示波器管以及可連接成三極管的電真空器件,均可以連接成熱陰極電離計(jì)  規(guī)管的形式,用管本身作為規(guī)管測(cè)量出管子內(nèi)的真空度。從理論上講,只要把管子存放一段時(shí)  間,測(cè)出管內(nèi)壓力增長(zhǎng)率,便可確定出管子是否漏氣及其漏率的大小  般管子為了維持工作真空度,管內(nèi)都加有消氣劑,在其有效工作期內(nèi)對(duì)活性氣體幾乎全  部吸收,而對(duì)惰性氣體幾乎不吸收。管內(nèi)的壓力增長(zhǎng)率取決于惰性氣體,其中主要是氬氣

超高真空全壓力測(cè)量的要求  目前用于超高真空測(cè)量幾乎都釆用相對(duì)規(guī)測(cè)量原理,儀器包括測(cè)量規(guī)和測(cè)量線(xiàn)  路,測(cè)量規(guī)和真空系統(tǒng)連接,規(guī)工作的各級(jí)電壓由測(cè)量電路給出,與壓力有關(guān)的電  信號(hào)通過(guò)放大及處理并以壓力形式給出。最常用的全壓力測(cè)量計(jì)有BA型及其他  類(lèi)型的熱陰極超高真空電離計(jì)、冷陰極正磁控管型真空計(jì)和反磁控管型真空計(jì)。為  了滿(mǎn)足超高真空測(cè)量的特殊要求,在測(cè)量?jī)x器選擇、規(guī)的安裝和正確使用等方面應(yīng)  注意下面幾個(gè)問(wèn)題。 

 油擴(kuò)散泵是高真空系統(tǒng)經(jīng)常使用的泵種,采取某些技術(shù)措施,可以獲得超高真空,其方  法有如下幾種  (1)選用性能好的擴(kuò)散泵油  泵油對(duì)油擴(kuò)散泵極限壓力影響很大,如使用3號(hào)擴(kuò)散泵油,其極限壓力只能達(dá)到10-5  Pa,而改用了275硅油,其極限壓力能達(dá)到10-Pa,極限壓力提高2個(gè)數(shù)量級(jí)。其次被抽  氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化,這就是泵油成分帶來(lái)的影響。為此用油擴(kuò)散泵獲得超  高真空,必須選擇性能好的擴(kuò)散泵油。對(duì)擴(kuò)散泵油的要求是:泵油的相對(duì)分子量要大,常溫  下的蒸氣壓要低,熱穩(wěn)定性和抗氧化性要好,凝固點(diǎn)和低溫黏度要低、要無(wú)毒、耐腐蝕、成  本要低。擴(kuò)散泵油的性能參數(shù)見(jiàn)表4-38所示。

①擴(kuò)散泵系統(tǒng)油擴(kuò)散泵是獲得超高真空的重要泵種,但必須很好地解決污染,否則  無(wú)法獲得超高真空。  擴(kuò)散泵系統(tǒng)的污染主要來(lái)自擴(kuò)散泵油的返流,機(jī)械泵油的返流,以及擴(kuò)散泵油加熱分解  產(chǎn)生的永久性氣體,如氫、甲烷、乙烷等的返流。擴(kuò)散泵油返流原因、影響及防止在第4章  論述,這里不再贅述

Batzer密封法  Batzer密封法蘭,它能夠提供足夠的彈性變形和高密封力,結(jié)構(gòu)形式如圖3-1  所示。金屬密封面為1.5m的光潔表面,放大圖中角度A約為1.5°,比法蘭的彎  曲變形大0.8°,這樣可保證在內(nèi)徑的指定的區(qū)域獲得可靠的密封。法蘭用螺栓擰  緊時(shí),每只法蘭密封處產(chǎn)生0.15mm的彈性變形,螺栓伸長(zhǎng)0.05mm,總變形量約  0.35mm。鋁箔墊片厚度為0.02~0.08mm,潛在蠕變量約0.02mm,墊片潛在蠕  變量比彈性變形量小得多,這樣在烘烤后,仍能保持初始密封力的大部分。墊片壓  縮區(qū)的實(shí)際徑向?qū)挾却蠹s1mm,線(xiàn)密封力大約3×105N/m。此數(shù)據(jù)試驗(yàn)參數(shù)為  304不銹鋼螺栓直徑9.5mm、螺紋每厘米6.3牙,螺栓間距5cm,螺栓扭矩4  105N·n