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慢性漏氣的加速檢測法  對電視顯像管、示波器管以及可連接成三極管的電真空器件,均可以連接成熱陰極電離計  規(guī)管的形式,用管本身作為規(guī)管測量出管子內(nèi)的真空度。從理論上講,只要把管子存放一段時  間,測出管內(nèi)壓力增長率,便可確定出管子是否漏氣及其漏率的大小  般管子為了維持工作真空度,管內(nèi)都加有消氣劑,在其有效工作期內(nèi)對活性氣體幾乎全  部吸收,而對惰性氣體幾乎不吸收。管內(nèi)的壓力增長率取決于惰性氣體,其中主要是氬氣

超高真空全壓力測量的要求  目前用于超高真空測量幾乎都釆用相對規(guī)測量原理,儀器包括測量規(guī)和測量線  路,測量規(guī)和真空系統(tǒng)連接,規(guī)工作的各級電壓由測量電路給出,與壓力有關(guān)的電  信號通過放大及處理并以壓力形式給出。最常用的全壓力測量計有BA型及其他  類型的熱陰極超高真空電離計、冷陰極正磁控管型真空計和反磁控管型真空計。為  了滿足超高真空測量的特殊要求,在測量儀器選擇、規(guī)的安裝和正確使用等方面應(yīng)  注意下面幾個問題。 

 油擴散泵是高真空系統(tǒng)經(jīng)常使用的泵種,采取某些技術(shù)措施,可以獲得超高真空,其方  法有如下幾種  (1)選用性能好的擴散泵油  泵油對油擴散泵極限壓力影響很大,如使用3號擴散泵油,其極限壓力只能達到10-5  Pa,而改用了275硅油,其極限壓力能達到10-Pa,極限壓力提高2個數(shù)量級。其次被抽  氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化,這就是泵油成分帶來的影響。為此用油擴散泵獲得超  高真空,必須選擇性能好的擴散泵油。對擴散泵油的要求是:泵油的相對分子量要大,常溫  下的蒸氣壓要低,熱穩(wěn)定性和抗氧化性要好,凝固點和低溫黏度要低、要無毒、耐腐蝕、成  本要低。擴散泵油的性能參數(shù)見表4-38所示。

①擴散泵系統(tǒng)油擴散泵是獲得超高真空的重要泵種,但必須很好地解決污染,否則  無法獲得超高真空。  擴散泵系統(tǒng)的污染主要來自擴散泵油的返流,機械泵油的返流,以及擴散泵油加熱分解  產(chǎn)生的永久性氣體,如氫、甲烷、乙烷等的返流。擴散泵油返流原因、影響及防止在第4章  論述,這里不再贅述

Batzer密封法  Batzer密封法蘭,它能夠提供足夠的彈性變形和高密封力,結(jié)構(gòu)形式如圖3-1  所示。金屬密封面為1.5m的光潔表面,放大圖中角度A約為1.5°,比法蘭的彎  曲變形大0.8°,這樣可保證在內(nèi)徑的指定的區(qū)域獲得可靠的密封。法蘭用螺栓擰  緊時,每只法蘭密封處產(chǎn)生0.15mm的彈性變形,螺栓伸長0.05mm,總變形量約  0.35mm。鋁箔墊片厚度為0.02~0.08mm,潛在蠕變量約0.02mm,墊片潛在蠕  變量比彈性變形量小得多,這樣在烘烤后,仍能保持初始密封力的大部分。墊片壓  縮區(qū)的實際徑向?qū)挾却蠹s1mm,線密封力大約3×105N/m。此數(shù)據(jù)試驗參數(shù)為  304不銹鋼螺栓直徑9.5mm、螺紋每厘米6.3牙,螺栓間距5cm,螺栓扭矩4  105N·n