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 a.泵循環(huán)油量也影響泵的極限壓力。油循環(huán)量與泵極限壓力的關(guān)系見圖433。隨著油量  的增多,密封效果越好,泵的極限壓力與油量的關(guān)系應(yīng)按圖中DE變化,最終達到油的飽和蒸  氣壓p0。而實際上泵油中含有大量的空氣和水分,泵油進入泵腔后,吸收在泵油中的空氣和  水分又釋放出來,泵極限壓力與油量的關(guān)系應(yīng)按FG變化。在DE和FG兩曲線的共同影響下  泵極限壓力與油量的關(guān)系為曲線ABC。最低壓力PB對應(yīng)的油量QB為最佳注油量。

給出的是一個在真空容器和分子泵之間設(shè)有閥門、冷阱的超高真空系  統(tǒng),其粗抽管道和前級管道與圖5-21所示擴散泵抽氣系統(tǒng)相同。分子泵配置的前  級泵和擴散泵不同。擴散泵的正常運轉(zhuǎn)要求前級泵具有足夠大的抽速,在最大排氣  量時確保擴散泵前級壓力低于擴散泵臨界前級壓力。渦輪分子泵則要求選擇具有足  夠抽氣流量的前級泵,使靠近前級管道的葉片在最大排氣量時處于分子流或正好處  于過渡流。大多數(shù)分子泵的最大穩(wěn)態(tài)進氣口壓力p人約為0.5~1Pa,最大前級壓  力前約為30Pa,所以分子泵在最大排氣量時的壓縮比(p前/p)或前級泵的抽  速與分子泵抽速之比(S前/S分)在60~30之間

用10K以下的低溫板和吸氣劑(活性炭),冷凝、吸附氣體分子的小型制冷機  5.3.2.5低溫果抽氣系統(tǒng)  低溫泵,可以組成理想的清潔無油的超高真空抽氣系統(tǒng)。這種系統(tǒng)用普通碳鋼真空  泵容器,不經(jīng)姒烤可獲得低于10-Pa的極限壓力。選用不銹鋼真空容器,經(jīng)  300℃、4h高溫除氣,能獲得低于10-8P2a的極限壓力。

   ①鈦泵以鈦升華泵為主是獲得高真空或超高真空的泵種之一,工作壓力范圍為0.13  1×10Pa,啟動壓力為1.3Pan,但它不能單獨使用,若配置無油泵或分子篩吸附泵為前級  泵可獲得全無油的超高真空。若配置帶吸附阱的機械泵或帶冷阱的擴散泵機組可獲得近似無

油的超高真空 

由于油擴散噴射泵在10~102Pa區(qū)域內(nèi)有較大的抽氣量,因此要求泵油有好的熱穩(wěn)定性、抗氧化性在鍋爐工作溫度下有較高的飽和蒸汽壓,以提高蒸汽射流強度及泵的最大出口壓力。泵油的汽化潛熱要小,餾分要窄。泵油在室溫下的飽和蒸氣壓在10-3Pa數(shù)量
同擴散泵返油一樣,從噴嘴出來的超音速蒸汽流會有一部分向泵入口側(cè)遷移。為減少油蒸  氣向泵入口的返油,可在噴嘴上方裝置擋油帽,如圖8-56所示。