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   超高直空抽氣機朋晨重要的設計參數(shù)是抽氣機組(包括主抽氣機組和粗  m)的程限壓力、抽氣速率、粗抽時間以及對無油潔凈度的要求,其次是機組長取  運轉的可靠性及壽命,對機組的振動、磁場的要求,操作難易程度以及機組的一在  性投和運轉費用等  超高真空抽氣機組極限壓力是決定真空系統(tǒng)能否滿足進行實驗或工藝生產是  不的性參數(shù),式(54)一式(56)曾探討了影響系統(tǒng)的極限壓力的因素,需要  別提出的是,超高真空容器內的極限壓力取決于容器的放氣量(忽略漏率影)  圖此需要給出什么烤規(guī)范(包括烘烤溫度,烘烤時間,升、降溫速率等)下所B  得的最低壓力值、不滿足烘烤規(guī)范條件,就難以獲得給定的極限壓力。同時還需  了解主泵的極限壓力(至少要比真空容器的極限壓力低半個到一個數(shù)量級),擋板  冷以及管道流導等因素對真空容器極限壓力的影響  超高真空抽氣機組抽氣速率通常是指真空容器抽氣口處的有效抽速,應根器具  供的工件在處理時的工作真空度、總出氣流量(包括容器和工件),以及擋板  冷即和抽氣管道等與真空泵串聯(lián)元件的流導來選取真空泵的抽速,對于不同種類的  工件應選取其中出氣量和工作真空度要求最高者,同時還應當考慮到批量工件出氣  參數(shù)漲落及真空泵的不同抽速系列,盡量選取較大抽速的真空泵,一般所選泵的  速應比計算值大30%~50%為宜。
選擇超高真空抽氣機組另一個重要指標是對潔凈度的要求,機組中配置真空的返流物,不僅限制了機組的極限壓力,更主要的是對工件的污染,對某些用戶來說,使用帶有液氮冷阱的擴散泵機組,產生的極少量的擴散泵、機械泵油的污染也會嚴重影響其產品質量,就必須選擇潔凈無油的抽氣機組?？捎米龀哒婵罩鞅?nbsp; 的現(xiàn)代真空泵有油擴散泵、渦輪分子泵、濺射離子泵、低溫泵以及鈦泵等。它們昌  有其各自的獨特優(yōu)點,可根據(jù)實驗或工藝的特殊要求進行泵的搭配和選擇  超高真空機組所選用的閥門、冷阱、擋板和抽氣管道,除了要求在烘烤溫下  能保持可靠的密封性能外,在分子流條件下還應有足夠大的流導,以免過度影響主  泵的有效抽速,除必要的直角管道外,盡可能采用短而粗的直管道。冷阱和擋板應  具有能阻擋二次束流的光學密閉(通過冷阱或擋板的氣體分子要求至少碰撞兩次冷  板)及防油爬移結構,它們可直接安裝在泵與閥門之間,用以降低系統(tǒng)中油的分  壓。

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