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     低溫泵抽氣系統(tǒng)根據(jù)抽氣機理可以大致分為低溫冷凝、低溫吸附和兼有兩種抽氣機理的  制冷機低溫泵抽氣系統(tǒng),可根據(jù)工藝生產(chǎn)要求選用。例如,用10K以下的低溫板和吸氣劑,  冷凝、吸附氣體分子的小型制冷機低溫泵,可以組成理想的清潔無油的超高真空抽氣系統(tǒng)  普通碳鋼真空泵容器不經(jīng)烘烤,可獲得低于10-6Pa的極限壓力。選用不銹鋼真空容器,經(jīng)  300℃、4h高溫除氣,能獲得低于10-8Pa的極限壓力。低溫泵機組的抽氣曲線平穩(wěn)段很寬  (類似于油擴散泵),雖然它也和濺射離子泵一樣,不將被抽氣體排向大氣而捕集在泵內(nèi),但  是它在抽氣時不消耗吸氣材料,每次抽氣結(jié)束升溫再生時,通過預(yù)抽泵可將釋放出的氣體排  到大氣中,因此,它的抽氣容量和壽命都遠大于濺射離子泵。低溫泵機組的抽速從幾百升到  數(shù)十萬升,其應(yīng)用范圍比濺射離子泵抽氣系統(tǒng)廣泛。  圖3-27是一臺典型的低溫泵抽氣系統(tǒng)的示意圖。正常工作時,系統(tǒng)不需要前級泵,只  有開始抽氣時和低溫泵再生時需要預(yù)抽泵抽除真空容器中的水氣或升溫解吸出的氣體  真空閥門下面的粗抽管道主要用于低溫泵停止抽氣期間的升溫再生。對清潔度要求不嚴  格的系統(tǒng),可以使用旋片機械泵作為預(yù)抽泵。要求絕對無油的清潔真空環(huán)境,可以采用多級  分子篩吸附泵或干式泵機組預(yù)抽。

①低溫泵抽氣機組的運行(啟動和停機)首先啟動制冷機低溫泵(此時高真空閥處于  關(guān)閉狀態(tài)),通過閥門11用預(yù)抽泵抽除低溫泵泵體內(nèi)的大氣,當壓力達到20~15Pa時,關(guān)
閉閥門11停神預(yù),當?shù)蜏乇美浒暹_到正常工作溫度后,啟動預(yù)抽泵打開預(yù)抽閥8對真  空容器進行預(yù)抽,到達規(guī)定轉(zhuǎn)換壓力時關(guān)閉預(yù)抽系統(tǒng)井打開高真空閥,低溫泵開始對真空容  四過行抽氣,系統(tǒng)到達其本底極限壓力的抽氣時間將由系統(tǒng)的歷史條件、處理工件的出氣  閥門密封圈的漏氣道率等因素決定,通常容器內(nèi)壓力抽到工作壓力時,就可以進行工藝處  個工藝周朋完成后需要直空容四放入大氣更換工件時,首先關(guān)閉高真空閥,通過直  ,不一定需要達到其本底壓力,  室放氣閥5放入大氣(最理想的氣體是放入干燥氮氣),更換工件后,再用預(yù)抽泵抽除放入  的氣體、到轉(zhuǎn)換壓力時關(guān)閉粗抽閥門8,停掉預(yù)抽泵,打開高真空閥4  停止運轉(zhuǎn)的步驟與啟動程序相反,首先關(guān)閉高真空閥,再切掉制冷機的電源,停止低阻  泵運轉(zhuǎn),如果系統(tǒng)運轉(zhuǎn)期間抽除的氣量很小,停泵后自然升溫時冷凝、吸附的氣體全部放出  仍不足以使泵體內(nèi)壓力升高到1個氣壓以上,停泵時不需要啟動機械泵。如果抽除的氣量很  多,切斷氮壓縮機電源的同時就需要啟動預(yù)抽機械泵,將低溫泵冷板解吸的氣體排到大氣  中,防止解吸的氣體形成過高壓力引起爆炸,確保低溫泵的安全  超高真空系統(tǒng)無論是停泵或更換工件,都盡可能避免放入潮濕大氣,每個工藝周期停泵  時最好放入干燥氮氣,讓系統(tǒng)內(nèi)所有表面在停泵后吸附幾層氮氣分子,能有效地降低再次啟  動時材料的出氣率,縮短啟動抽氣時間  ②低溫泵系統(tǒng)特性20K的低溫表面黏附的活性炭能大量抽掉除氫氖等氣體,但對復(fù)  的抽氣容量很小,需要抽除大量氮氣的低溫泵,應(yīng)該使用4.2K的液氮低溫泵,不能用氣氦  低溫泵,液氮低溫泵還具有無震動、無磁場的突出優(yōu)點,可用于與化學分析電子能譜儀或二  次離子質(zhì)諸儀一類的靈敏的表面分析設(shè)備。氣體制冷機低溫泵的活塞運動產(chǎn)生的輕微震動會
小型制冷機低溫泵系統(tǒng)盡量不用于抽除大量氬氣,若用于抽除大量氬氣時,應(yīng)采用  二次光學屏蔽的80K擋板用以屏蔽20K低溫板,減少缸氣進入吸附劑的概率。因為氫氣會在吸附劑的微孔表面凝結(jié)成固態(tài)氬,一且吸氣劑表面覆蓋一層固態(tài)氧,就只有靠固態(tài)氫霜捕集氫、氮,當氨霜的溫度高于20K時,氬霜就不能捕集氫。一旦吸附劑的微孔被氙或油蒸氣冷凝物堵塞,或者吸附劑吸附的氣體達到飽活時,必須對低溫泵進行再生,才能恢復(fù)泵的抽氣性能
③低溫泵的再生低溫泵抽氣系統(tǒng)的再生依據(jù)再生溫度分為部分再生(室溫)和全部再生(高溫烘).

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