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 帶冷阱的超高真空油擴散泵  ①超高真空油擴散泵不能在大氣壓下工作,需要用粗抽泵將真空容器的大氣  抽至啟動壓力以下,油擴散泵配置的前級泵,在較低的前級壓力下其排氣量應(yīng)大于  擴散泵的最大排氣量,用以減少反擴散的概率  ②運轉(zhuǎn)油擴散泵一定要避免處于高溫下的泵油與大氣接觸,否則會發(fā)生泵油的裂解、氧化,污染整個真空系統(tǒng)的重大事故。  ③在整個運轉(zhuǎn)期間,必須注意泵的加熱功率和冷卻水溫,一旦發(fā)現(xiàn)出水口水  溫過高,應(yīng)立即重新調(diào)節(jié)冷卻水流量。若遇停水,則應(yīng)立即切斷加熱電源,并將加  熱電爐移開后用風(fēng)扇冷卻泵體。關(guān)閉加熱電源停止運轉(zhuǎn)擴散泵后,一般需要繼續(xù)用  前級泵抽氣,直到泵油鍋冷卻到安全溫度,才能停止抽氣和關(guān)閉冷卻水  ④帶液氮冷阱的擴散泵超高真空系統(tǒng)烘烤后,應(yīng)當在冷阱完全冷到室溫后  加注液氮。加注前,要把液氮膽內(nèi)的所有水和蒸氣用熱風(fēng)吹干,避免水凍結(jié)在冷  阱內(nèi)。加注液氮時,最好先將少量液氮加入阱的底部,等到系統(tǒng)的可凝物(水  有機溶劑、二氧化碳等)捕集在阱的下部真空度達到高真空后,再逐步加滿液氮。  ⑤工藝周期要求長時間運轉(zhuǎn)的擴散泵系統(tǒng),最好配備自動控制裝置,自動控制的主要內(nèi)容有
a.粗抽泵抽氣達到給定的壓力時,能自動啟動擴散泵
b.系統(tǒng)內(nèi)壓力突然升高到最大允許值時,自動關(guān)閉高真空閥,切斷擴散泵加熱電源并報警;
c.冷卻水溫過高或中斷時,自動切斷加熱電源并報警
d.控制兩只并聯(lián)的前級泵自動轉(zhuǎn)換成間斷工作,確保前級泵不過熱。
⑥需要打開容器換取工件時,最好通入干燥熱氮氣,再次抽氣時可降低容器

內(nèi)材料的出氣速率
偶輪分子轟  ①啟動因輪分于至粗抽系統(tǒng)要先通冷卻水再打開級管道網(wǎng)門,接通吸泵  和渦輪分子泵的電源,輪分子泵達到額定轉(zhuǎn)速的50%以上啟動粗抽泵,當容器  機抽到100-150P,就可以關(guān)團粗抽國,打開超高真空,切換到隊輪分子雙上,  對于沒有粗抽管道和超高真空閥的輪分千泵的抽氣系統(tǒng),啟動時先通冷1  水,打開前級管道閥門,再接通前級泵和渦輪分子泵的電源,若選擇前級泵的  速合適,可使粗抽時間和分子泵葉輪加速時間同步,就可以避免啟動時前級果油  對容器的污染,如果前級泵抽速過小,它不能在分子泵達到最大轉(zhuǎn)速前把容器從  大氣頂抽到切換壓力,此時,分子泵的電機過流保護裝置就會把分子泵關(guān)掉,遇  到這種情況,可果取更換大抽速的前級泵成等到分子泵停轉(zhuǎn)后再重新啟動的方法  加以解決,若分子系的拋速過大,容器壓力達到切換壓力時,分子泵的轉(zhuǎn)速仍然  很低,這時就應(yīng)當稍微開啟容器上的充氣閥,控制沖入的干燥的氮氣流量使容器  壓力維持在200Pa,直到分子泵的轉(zhuǎn)速達到額定轉(zhuǎn)速的80%以上,即可關(guān)閉充  ②渦輪分子泵在停機時當葉片轉(zhuǎn)速低于額定轉(zhuǎn)速40%,會出現(xiàn)前級泵油和  子泵的潤滑油蒸氣返流到分子泵進氣口端的清潔區(qū),無論是否有無超高真空閥的分  子泵,停機時轉(zhuǎn)速低于額定轉(zhuǎn)速50%,要從分子泵進氣口端(或容器)打開充氣  閥放入干燥氮氣,直至分子泵停轉(zhuǎn)再關(guān)閉充氣閥,這樣放入的干燥氮氣可將油蒸氣  沖洗出去
③安裝自動啟動和停泵的自動控制裝置可簡化人工啟動的繁雜操作,可參考  啟動步驟設(shè)計啟動分子泵控制程序:首先啟動機械泵,打開預(yù)抽閥和分子泵的前級  管道閥進行抽氣,當機械泵抽氣管道壓力達到200Pa時關(guān)閉粗抽閥,啟動分子泵  當分子泵達到額定轉(zhuǎn)速后打開分子泵進氣口的超高真空閱,切換到分子泵抽氣,停  泵程序可按生產(chǎn)廠家提供的有關(guān)停泵和放氣說明進行停泵程序設(shè)計。一般規(guī)范是,  首先關(guān)掉超高真空閥后關(guān)掉分子泵電源,然后打開分子泵進氣口端的節(jié)流放氣閥  并使泵進口壓力升到500Pa,當泵停止運轉(zhuǎn)后再停掉機械泵,當泵內(nèi)壓力達到一個  大氣壓時,關(guān)閉放氣閥
④采用渦輪分子泵的超高真空系統(tǒng),要避免突然暴露大氣。否則,沖擊氣流會損壞分子泵的葉片造成事故
⑤對分子泵運轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的振動有特殊要求的用戶,可將泵與真空容器之間的管道改用波紋管,可明顯改善機械振動
⑥分子泵屬于一種
⑥分子泵屬于一種貯能的高轉(zhuǎn)速精密裝置,應(yīng)當對冷卻水、電源、機械損傷  (包括固體塵粒引起的損傷)和扭矩過載等故障設(shè)置自動保護裝置,確保可靠地安  全運轉(zhuǎn)  6.3.3.3濺射離子泵  濺射離子泵正常工作時不需要前級泵,因而無振動、無噪聲,除了對過高的工  作電流進行保護,避免電源過熱受損外,不需要其他保護措施。例如突然停電時泵  停止抽氣,系統(tǒng)會因漏放氣而使壓力升高外不會對泵造成任何傷害  離子泵特別適用于工藝周期長的超高真空系統(tǒng),不宜暴露于大氣和頻繁地啟動
真空技檢,轉(zhuǎn)與  和抽除大量的氣體,可根據(jù)對清潔真空的需求,并聯(lián)使用分子泵、低溫泵、鈦升華  泵+分子吸附泵等任何一種泵,用于從大氣抽氣到高真空階段抽氣(包括烘烤除  氣階段),烈射離子泵僅工作于超高真空,這樣就能發(fā)揮它的安靜、高可靠的獨特
小型制冷機低溫泵的啟動壓力受制冷功率限制,不能在大氣壓下工作,可根據(jù)  6.3.3.4小型制冷機低溫系  對真空清潔程度的要求,將系統(tǒng)壓力粗抽到100-10Pn即可啟動制冷機壓縮機,  達到規(guī)定的制冷時間后即可關(guān)閉前級粗抽閥門停止粗抽,打開高真空閥切換到低溫  泵抽氣,低溫泵進氣口允許的最高壓力稱為轉(zhuǎn)換壓力(與二級冷頭制冷功率和被抽  容器體積有關(guān)),應(yīng)按照廠家給出的轉(zhuǎn)換壓力進行操作,過高的轉(zhuǎn)換壓力會影響制
小型制冷機低溫泵與濺射離子泵相比,啟動容易,能抽除大量氫氣,不存在高  冷機低溫泵的正常工作
壓和磁場問題,不會像鈦泵那樣會產(chǎn)生鈦膜剝落碎片的污染。由于膨脹機中的浮塞  的往復(fù)運動,會引起輕微的振動,系統(tǒng)配置電子能譜儀、二次離子譜儀和其他表面分析儀時,需要采用有效的減振措施  低溫泵進氣口冷板溫度遠低于真空容器的壁溫,這種溫度場對泵口附近的氣體  分子的空間分布有明顯的改變,會影響真空計的測量精度,嚴重時誤差接近一倍之  多。同理,不同溫度表面蒸發(fā)出的分子速度不同,特別是低溫面較大的系統(tǒng)(如空  間環(huán)模設(shè)備)很難闡述系統(tǒng)中壓力的確切意義,這是在進行表面分析研究時需要特別關(guān)切的問題
低溫泵另一問題是制冷機能力有限,容易受長波紅外線的輻射影響,試件或生產(chǎn)工藝用加熱器進行加熱時,對低溫表面需設(shè)計熱屏蔽(如泵口加裝水冷擋板等)要求熱屏蔽的設(shè)計既要具有良好的屏蔽效果又要不使泵的抽速過度降低
使用小型制冷機低溫泵最值得注意的問題是停止泵運轉(zhuǎn)時的安全問題。整個運轉(zhuǎn)期間所抽除的氣體都被冷凝吸附在泵內(nèi),停止運轉(zhuǎn)后隨著低溫板的升溫,被抽氣體將全部釋放出來,形成的高壓氣體一旦超過泵體的機械強度,可能發(fā)生爆炸事  故。對于小型的超高真空系統(tǒng),運轉(zhuǎn)時間很短,抽出的氣量很少,所有的氣量都不  足以形成高于大氣壓,停泵后可以不用前級泵將釋放的氣體抽除,等下次啟動低溫  泵時再預(yù)抽釋放的氣體。如果抽氣時間很長,抽氣量很大,停泵時必須打開前級泵  抽除釋放的氣體,直到二極冷頭升溫到安全溫度,才能全部停掉抽氣系統(tǒng)。不論何  種情況,都要經(jīng)常檢查維修過壓安全閥。

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