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A油的返流  在旋片泵工作時,油蒸氣會逆著氣流運動  方向進入泵入口,通過入口管路最終進入被抽  容器。油蒸氣的返流量隨壓力的降低而增加,在極限壓力附近時,返流量最大(見圖731)返流油蒸氣主要由泵油中最輕的餾分組成。
油的返流會污染真空室,影響最終產(chǎn)品的質量,必須加以控制。防止油返流的措施主要有
(1)在泵入口管道上設置放氣閥,使入口  壓力維持在10Pa或更高,這樣可以減小返流  98%
(2)對于單級泵,在泵運轉時打開氣鎮(zhèn)閥就能很好地防止油的返流。  (3)在泵入口設置吸附阱,依靠吸附劑吸附返流蒸氣。粒狀活性氧化鋁可以吸附99%的  返流油蒸氣。這種吸附阱需定期更換吸附劑,以防吸附材料吸氣能力達到飽和而失效。  (4)使用特殊泵油。特殊泵油的返流量很小,但由于價格較貴,因此影響到它的廣泛使用  B泵的啟動與停止  通常旋片泵由三相交流電機驅動特別注意電源線的連接,以保證旋轉方向的正確,否則  泵油將被排到真空室。因此泵應設置反向制動以防止泵的反轉。當電源線接錯時,泵不能啟  動。為防止電機燒壞,還應設置過載開關,通常為溫控開關。  停泵時,出口空氣的壓力將使泵反轉,會使泵油返到真空室中,空氣也會進入真空室破壞  真空。因此需要特殊的閥門把泵和真空室隔開,以防止空氣和泵油進入真空室。圖7-32的保  護閥置于泵入口管道中,其作用為:當泵斷電或控制開關斷開時,關閉泵與真空室之間的管  道,并且向泵入口放氣。這種保護閥通常為電磁放氣閥。它與電機電源連在一起,控制空氣的  進人。電機斷電時,電磁閥打開,靠大氣與泵入口的壓差關閉泵與真空室之間的通道,然后大  氣進人泵入口。泵啟動時,電磁閥關閉,泵對保護閥抽空,閥板靠彈簧壓力打開。在一般的旋  片泵中,常常在泵入口內設置有空氣隔離閥,起到上述保護閥的作用,這時在入口管路上就無  需設置電磁放氣閥了。  C泵油的過濾和更換  為防止泵油中的粉塵、顆粒物質隨泵油一起進入泵腔,在泵運轉過程中應設有連續(xù)過濾  裝置。圖7-33是油過濾器結構簡圖。過濾器與泵之間由同軸套管連接。當泵轉動時,泵油  靠大氣與泵腔內的壓差或由獨立的油泵經(jīng)外管進入過濾器,過濾后的油經(jīng)內管進入泵的循環(huán)  油路中。過濾器內的過濾芯在油經(jīng)過時擋住了機械污染物,凈化了泵油。過濾器上常常聯(lián)上  壓力表以顯示過濾器是否堵塞。當壓力增加,油不能正常流動時,即為過濾器堵塞,應更換

清洗過濾芯。  現(xiàn)代旋片泵很少需要經(jīng)常維護,主要注意油量、油的顏色和狀態(tài)。一般每周檢查一次油  量。泵在高的入口壓力或在氣鎮(zhèn)條件下工作時,每天都要檢查油量,因為在此條件下工作,泵  油的損失是比較嚴重的  換油的時間間隔依工作條件而定。一般因油潤滑不良、油分解或污染物太多使泵極限壓力  上升時,就需要更換油了  D油霧的產(chǎn)生及分離  在旋片泵排氣過程中,懸浮在被抽氣體中的油滴隨氣體一起被排出。因此,常在泵出口看  到“油霧”同時也有少量的油蒸氣被排出。隨著環(huán)保要求的提高,新型旋片泵一般在出口設  置油氣分離裝置  在被排出氣體中的油滴直徑大約0.01~0.8m,這樣小的液滴不能用一般的編織網(wǎng)過濾,  而是采用特殊纖維制成過濾裝置來實現(xiàn)油氣分離,其中要有足夠小的微孔吸收油霧。分離器的  結構見圖7-34。過濾元件置于圓筒油霧分離器之中,被排出氣體由泵出口進入分離器,經(jīng)過過  濾元件的氣體到達過濾器出口時,已經(jīng)得到凈化。油在分離器中被收集,收集的油量可由觀察  窗看到。當過濾元件被堵時,壓力將增加。當壓力達到1.5×105Pa時,分離器的安全閥打開,  此時必須清洗或更換過濾元件  E除塵裝置  在有些真空工藝中會產(chǎn)生大量的灰塵,這些灰塵將隨被抽氣體一起進入旋片泵。灰塵混在  泵油中,像研磨劑一樣會對泵轉子和泵腔造成磨損和破壞。在灰塵量較少時,可以由油過濾系  濾除,但灰塵量較大時,為防止泵損壞,保證泵正常運轉時必須使用除塵器

分離器,大顆?；覊m在此被分離并沉積于外筒室底部。較小的顆粒隨被抽氣體進入油浸過濾  器。經(jīng)過充分除塵的氣體由出口4或5進入真空泵。

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