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維修資訊 -> 渦輪分子泵操作時(shí)蓋注意什么事項(xiàng)?
渦輪分子泵的主要優(yōu)點(diǎn)是能獲得具有較為清潔的真空以及對(duì)被抽氣體化學(xué)特性 不敏感。但抽速還不能做得很大。從應(yīng)用方面來看,分子泵安裝、運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)要注意以 下幾點(diǎn)。 ①立式和臥式兩種分子泵都不能承受穩(wěn)定的或瞬時(shí)的扭矩,進(jìn)口法蘭不能承 受重的真空容器載荷或懸臂載荷,與系統(tǒng)法蘭連接時(shí)要特別小心時(shí),不能使分子泵 受到大的沖擊,否則會(huì)損傷轉(zhuǎn)子及軸承。最好是將渦輪分子泵懸吊在容器法蘭上, 而不能像擴(kuò)散泵那樣用進(jìn)口法蘭作為系統(tǒng)安裝平臺(tái)。 ②渦輪分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的精密機(jī)械,十分脆弱,不能突然暴露大氣 次誤操作可能損傷葉片甚至使整個(gè)分子泵報(bào)廢。雖然生 特別是立式渦輪分子泵 產(chǎn)廠家盡量增加葉片的剛度和強(qiáng)度,設(shè)置一些自動(dòng)保護(hù)裝置,系統(tǒng)漏入大氣、前級(jí) 壓力過高、電機(jī)定子或軸承過熱、電機(jī)電流過載等情況下,都能自動(dòng)切斷電源 保護(hù)裝置失靈,仍會(huì)造成事故。 ③渦輪分子泵軸承潤(rùn)滑油和前級(jí)泵油的污染,在某些應(yīng)用領(lǐng)域仍是急需解決 的問題。軸承潤(rùn)滑多使用增壓泵油、儀表油。正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),分子泵對(duì)油的壓縮比 大,污染較小,但停泵靜置期間,油蒸氣分子會(huì)擴(kuò)散到被抽系統(tǒng),在飽和蒸氣壓 10-3Pa條件下,系統(tǒng)內(nèi)表面布滿一個(gè)單分子只需要幾秒鐘。一旦系統(tǒng)被污染,要 恢復(fù)原先的真空度,往往需要100~200℃烘烤后,連續(xù)工作幾天才能慢慢恢復(fù)到 原來的水平。 ④軸承壽命問題。磁懸浮軸承是最有希望的理想軸承,可徹底解決軸承壽命 和油污染的問題。