正宇真空設(shè)備
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將氣體分子解離成離子,并在電場(chǎng)中加速,以一定的能量打在吸氣材料上用以 抽除氣體分子的泵稱為離子泵。普通的熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)都有抽氣作 用,1937年潘寧( Penning)首先觀察到受磁場(chǎng)約束的直流放電具有更為明顯的抽 氣作用,由于這種抽氣效應(yīng)很小,沒有引起人們的注意,直到1958年霍爾(Hl) 把幾個(gè)陽極小筒并聯(lián)起來,做成第一臺(tái)有商業(yè)價(jià)值的濺射離子泵 濺射離子泵屬于清潔超高真空泵,沒有任何油蒸氣污染。但是,它不能在大氣 壓下啟動(dòng),必需配置預(yù)抽泵將真空系統(tǒng)內(nèi)部壓力降低到10-1Pa的啟動(dòng)壓力以下。 使用常規(guī)的油封前級(jí)泵或粗抽泵,仍會(huì)造成污染,對(duì)潔靜度要求高的真空系統(tǒng),只 有使用無油機(jī)械泵或分子篩吸附泵,才能實(shí)現(xiàn)完全無油的清潔超高真空 濺射離子泵抽除的氣體,并不排除到大氣中,而是被吸附在泵內(nèi)。除需要抽出 容器內(nèi)的大氣外,離子泵啟動(dòng)后正常工作時(shí)不需要前級(jí)泵。沒有振動(dòng)和噪聲,清潔 無油,不需要冷卻,超高真空下的使用壽命長(zhǎng)、操作簡(jiǎn)便、安全可靠。特別適用于 電真空器件的排氣以及其他清潔無油的超高真空系統(tǒng)中作為主抽氣泵。缺點(diǎn)是磁鐵 體積大、笨重、成本高,價(jià)格較高,由于鈦的飽和吸附容量的限制,抽氣量小,不 適合較高壓力下(例如10-2Pa以上)長(zhǎng)期工作。此外,更換鈦板困難,應(yīng)用受到 定局限。
真空泵維修,真空泵油