正宇真空設(shè)備
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將真空系統(tǒng)的壓力降低到一定壓力(例如降到基礎(chǔ)壓力)所需要的時間,稱之為抽氣時 間。抽氣時間在真空裝置的真空系統(tǒng)中由于它直接關(guān)聯(lián)到極限壓力、工作壓力性能的好壞問 題,因此,不論是任何真空裝置在設(shè)計、研制的過程中,都把抽氣時問作為裝置的主要性能 指標提出來,以此作為驗收真空裝置主要技術(shù)性能之一。 真空系統(tǒng)的抽氣時間計算包括粗、低抽氣時間和高真空抽氣時間的計算兩部分。 (1)粗真空、低真空下抽氣時間計算 在粗真空、低真空下,真空設(shè)備本身內(nèi)表面的出氣量與設(shè)P
管道 備總的氣體負荷相比,可以忽略不計。因而,在粗真空、低真
真空室 空情況下計算抽氣時間時一般不需要考慮出氣的影響。
圖35真空系統(tǒng)原理圖 簡單的抽氣系統(tǒng)原理圖如圖3-5所示。它由真空室、管道 和真空泵三部分組成。S為泵的有效抽速;Sp為泵的名義抽 速;p為真空室某一時刻的壓力;p為真空室的極限壓力;U為管道流導。 ①泵的抽速近似常量時的抽氣時間計算 a,若漏氣量很小以至可以忽略時,真空設(shè)備從壓力p降到p所需要的抽氣時間t如下。 當流導很大(U>Sp)時,則S≈Sp,此時
s.+,則
Q很大以至不忽略時 的極限壓力P備從壓力戶降到P所需要的抽氣時間如下 當流導很大(U>S,)時,則S≈S·此時
則
抽氣時間
泵的名義抽速,L/s 一泵的有效抽速,1,/s,
設(shè)備開始抽氣時壓力
白極限壓力
管道的流導,L
Q—空載時,長期抽氣后真空室的氣體負荷(由漏氣、材科表面出氣形成的)
計算) c.抽速S近似于常數(shù),管道U是變量時的抽氣時間計算(適合于黏滯流時的粗略先把真空設(shè)備工作壓力范圍劃分為幾個區(qū)域,按每個區(qū)的平均壓力計算流導,再按下式 計算抽氣時間
泵的名義抽速
〔空設(shè)備容積
開始抽氣時的壓力,P Pn)一經(jīng)時間的抽氣時的壓力,Pa U1-p1與P2壓力區(qū)域間的計算流導,U2為p2與P3壓力區(qū)域的計算流導 其余類推,L/s
一所分的壓力區(qū)域各點壓力,P 利用圖36給出的一族曲線,可以計算黏滯流狀態(tài)下的抽氣時間。圖36的橫坐標表示 將容積1L的容器由大氣壓下降到10Pn時所需的進間,縱坐標表示泵的抽速 例如,機械泵的袖速為2L/s.管道直徑為3cm,長250cm,真空設(shè)備的容積為50L 計算設(shè)備從10Pa降到10Pa時所需要的抽氣時間
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