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4維修資訊
您的位置: 首頁 ->  維修資訊 -> 高真空系統(tǒng)運行時需要注意哪些事項?

     獲得極高真空的運轉(zhuǎn)經(jīng)驗,該系統(tǒng)的主要運轉(zhuǎn)規(guī)范作如下描述  ①系統(tǒng)預(yù)處理系晚正式運轉(zhuǎn)前,最好進行一段時的真空“浸泡”系統(tǒng)長期暴國大氣  后,需先充入干燥氮氣進行置換沖洗,以減小水蒸氣對系統(tǒng)的污染  ②抽空和加熱烘烤同時啟動“夾層”、“隧道”、“主容器”三路真空系統(tǒng)的機械泵:啟  動氟里品致冷機并通冷卻水,待各路真空系統(tǒng)達到一定真空度并且氟里昂機正常運行(氟里  冷凍障板進出口結(jié)霜)后,開啟各路系統(tǒng)擴散泵,通冷卻水;各路真空系統(tǒng)進入高真空  開始烘  冷研為保護外殼端部法蘭及大冷群法蘭密封圈(氟橡膠制),加熱烘烤時必須通冷卻水
③保溫系統(tǒng)烘烤和保溫是為了加速材料表面放氣過程,一般來說,烘烤溫度愈  保溫時間愈長,出氣愈會徹底,但根據(jù)實際操作經(jīng)驗,烘烤溫度不宜過高,一般可控制在250℃左右。烘烤時間盡量長一些,便于各部分溫度均勻。也可以預(yù)先充入少量氮氣,在氣氛中烘烤,其效果更好,采用的烘烤規(guī)范是:在250℃下保溫48h。在整個烘烤過程中,用BA規(guī)監(jiān)視主容器真空度,到保溫結(jié)束時,系統(tǒng)真空室一般可進入10-6Pa量級,從而能達到均勻烘烤和徹底去氣的目的
④升華泵(鈦鉬絲)去氣在極高室外圍和內(nèi)部裝設(shè)兩個鈦升華泵,其蒸發(fā)源為國產(chǎn)  鈦鋁合金絲(85%的鈦,15%的)曾對其蒸發(fā)參數(shù)和吸氣性能作過詳細(xì)的試驗研究。試  驗表明,該材料吸氣性能與它本身去氣歷史關(guān)系極大,在超高真空和極高真空范圍內(nèi)尤其如  此。對于新絲,要求在真空退火爐中進行真空除氣。其規(guī)范是:真空度為10-3-10-4Pa,  溫度為700~800℃,保溫時間為1~2h。或者在系統(tǒng)烘烤過程中原位去氣蒸發(fā)2~3次亦可  達到此目的。鈦鉬絲去氣過程是在熱狀態(tài)、高真空環(huán)境下進行的。大小鈦泵的去氣功率分別  為1.2kW和0.4kW,去氣次數(shù)為3~4次,每次去氣時間為10min左右,在去氣過程中  由BA規(guī)監(jiān)視其去氣效果,以系統(tǒng)動態(tài)壓力無明顯變化為滿意  ⑤測量規(guī)管去氣系統(tǒng)經(jīng)長時間高溫烘烤去氣,再經(jīng)過自然冷卻后,其表面放氣率會  大大降低。當(dāng)極高真空室冷卻到液氮溫度時,其放氣率更低。此時,與測量規(guī)管在工作狀態(tài)  下的總放氣量相比,該項是可以忽略的。因此,規(guī)管各電極表面能否徹底去氣將直接影響最  終獲得水平。為使規(guī)管去氣徹底而有效,并考
行電子轟擊去氣,去氣電流約100mA,去氣次數(shù)為3~5次,每次去氣時間為10min,在彎  往規(guī)去氣過程中,用BA規(guī)進行真空度變化監(jiān)圖  ①蒸鈦蒸鈦對極高直空獲得具有至關(guān)重要的作用,蒸鈦有兩種方式,一是冷態(tài)(器壁  處于液氮溫度)蒸鈦:二是熱態(tài)(器壁處于較高溫度)蒸鈦。根據(jù)經(jīng)驗,熱態(tài)蒸鈦效果更好,  在超高真空或極高真空下,由于氣體分子非常稀少,故適量蒸著的鈦膜將在足夠的時間  內(nèi)m持其吸氣性能。采取高溫、超高真空(10-6-10-Pa)下間斷蒸鈦方式。大小鈦泵的  蒸發(fā)功率分別為1.4kW和0.6kW,蒸發(fā)次數(shù)為3~4次,每次蒸發(fā)約10min  ①冷卻內(nèi)殼當(dāng)內(nèi)殼溫度接近室溫后,通過液氫盤管向內(nèi)殼注入液氮。隨著內(nèi)殼溫度  的降低,由于殼體內(nèi)壁上蒸著鈦膜所形成的冷凍鈦升華阱作用,系統(tǒng)真空度將得到進一步提  高,當(dāng)內(nèi)殼壁面徹底冷卻后,系統(tǒng)真空度可穩(wěn)定地達到10Pa  冬值得注意的是,由于內(nèi)殼在冷卻過程中的溫度變化,將對端部法蘭圈(氟橡膠制)密封產(chǎn)  響(螺栓松動,密封失效)為此,須在內(nèi)殼冷卻初期重新將密封法蘭上的所有螺栓擰緊  ③冷卻極高真空室極高真空室內(nèi)的最終冷卻(通過液氮),將對系統(tǒng)極限壓力產(chǎn)生直  影響,當(dāng)極高室儲槽內(nèi)通入液氮后,由于表面上蒸著鈦膜的巨大吸氣作用,系統(tǒng)真空度將  隨著壁面溫度的不斷降低而逐步和穩(wěn)定地提高,最后可達中等10-1Pa的水平  ⑨液氮減壓極高真空室儲槽內(nèi)液氮的減壓,是為了進一步降低液氮的溫度,提高壁  表面上鈦膜對氣體的粘著效果。試驗證明,這是一項十分有力的措施,最終能使系統(tǒng)極限真空度達到良好的10-11P  0極高真空度的測量在極高真空室端部法蘭上安裝了兩個測量裸規(guī):一個是調(diào)制B  A規(guī),其商用規(guī)頭型號為IMR103,靈敏度常數(shù)為0.188Pa-1;配用巴爾蔡司公司生產(chǎn)的  G040型全自動數(shù)字顯示超高真空電離真空計。另一個是510所研制的陶瓷蕊柱結(jié)構(gòu)的棵  彎注規(guī),其靈敏度常數(shù)約為0.105Pa-1,離子流測量采用日本進口的TR84型振簧式靜電  計,兩規(guī)靈敏度常數(shù)皆由“科工委真空計量一級站”校驗過  .極高真空規(guī)的燈絲如果選用鎢絲,由于燈絲的工作溫度高達200K0以  燈絲工作時的蒸氣壓達10-10Pa,不能用于測量更低的壓力。需要改為敷氧化釷的鎢燈絲以降低燈絲工作溫度以及蒸氣壓。實驗結(jié)果見表3-13  b.本實驗需要測量的離子流大
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