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  小型擴股互高直空抽氣機組通常配置有儲氣罐,設(shè)置在擴散泵和前級泵之間,儲存擴夏排出的氣休,設(shè)置儲氣罐的原因如下  ①由于需要防震而設(shè)置儲氣罐,真空系統(tǒng)工作時,某些工藝過程要求嚴格防震,因此  需要機械泵在一段時間內(nèi)停止工作,在這段時間內(nèi),擴散泵排出的氣體全都儲存在儲氣  中,儲氣代替機械泵維持擴散泵正常工作  這種用途的儲氣罐的體積V為
(3-28)式中Q—在機械泵停止工作的時間內(nèi)擴散泵的排氣量,PaL/s
—機械泵停止工作的時間,也就是要求儲氣罐工作的時間,s
擴散泵臨界前級壓力,或經(jīng)過時間t后,儲氣罐中所允許的最高壓力,Pa
p—機L械泵工作時擴散泵的前級壓力,或t=0時,儲氣罐內(nèi)壓力,Pa  例如某工藝生產(chǎn)過程中,機組的排氣量為10-1Pa·L/s,要求機械泵中間停止工作1h  需要前級儲氣罐的體積多大?擴散泵前級耐壓取10Pa,正常工作時前級壓力為7×10-Pa  將Q=10-12·L/s,t=3600,p1=10Pa,p=7×10-1Pa代入公式(328)得

38.7(L)  10-7×10
②為了縮短工作周期而設(shè)置儲氣罐。有些生產(chǎn)工藝要求在不關(guān)閉擴散泵加熱器的情況  下,真空室放進大氣換取元件、裝料。裝料后用機械泵預(yù)抽真空室,這段時間內(nèi)利用儲氣罐來維持擴散泵工作。  ③為防止真空室內(nèi)瞬時大量放氣影響擴散泵正常工作而設(shè)置儲氣罐。工藝生產(chǎn)中某  段時間內(nèi)放氣量特別大,但時間短,若按此時的最大排氣量配機械泵很不經(jīng)濟,這樣可  配置前級儲氣罐,在最大放氣量時儲存一部分氣體,以避免擴散泵前級壓力超過臨界前級壓力。  前級儲氣罐體積計算同式(328)。但設(shè)計這類前級罐時,應(yīng)滿足下面關(guān)系式

(3-2式中U—儲氣罐到擴散泵出口管道的流導(dǎo),L/s
V儲氣罐體積,L
1—儲氣罐工作時間,s
p—擴散泵臨界前級壓力,Pa
p1—機組正常工作時,擴散泵前級壓力,Pa
④用于穩(wěn)定擴散泵出口壓力而設(shè)備儲氣罐。機械泵排氣是脈沖的,雖然頻率不高(  般為7次/s左右),也會引起擴散泵出口壓力的波動,設(shè)置儲氣罐可減少這種波動。  (2)預(yù)抽泵  預(yù)抽泵(粗抽泵)主要用來抽除真空室中的大量氣體,使真空室氣壓由1×105Pa降到  主泵能夠啟動工作時的真空度,因此,要求預(yù)抽泵所達到的壓力小于主泵的啟動工作壓力,  預(yù)抽泵(如機械泵)的抽速大小由粗抽時間決定。從公式(3-15)導(dǎo)出

v. Pi  Sp-2. 3Kg-Ig-(L/s)  式中
預(yù)抽泵的名義抽速,L  V真空室容積,  p1開始抽氣時的真空室壓力,通常為1×105Pa  p主泵啟動壓力(或預(yù)抽結(jié)束時壓力),Pa;  修正系數(shù);  K  t—預(yù)抽泵的抽氣時間,對于容積V<1m3,取t=10~20min;中等容積V=2  4m3,取20~30min;大型容積,即V>5m3的真空室,取t=30~60