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  真空閥門是在真空系統(tǒng)中用來接通、切斷氣流,調節(jié)氣體流量或分配氣流的真  空元件。所有的真空系統(tǒng)、真空裝置都設有真空閥門將真空泵通過真空管道與抽  系統(tǒng)連接起來,或用真空閥門將各個真空室連接起來以實現某種特定的工藝流程  通常,設計真空系統(tǒng)時根據真空工藝的要求,來選擇不同類型的真空閥門,例如真  空計校準和直空泵抽速測量,需要配置高精度的微真空放氣間,用以調節(jié)系統(tǒng)的  真空度。而用來對真空室或油封機械泵放氣,只須選用一股的真空放氣閥即可滿足  需要。被抽氣容器采用直角管道與真空泵維修連接的真空抽氣系統(tǒng),可選用直角閥門來  代替彎管。電動、氣動閥門,可用于自動控制的真空系統(tǒng),而手動閥門則常用于簡  單的真空抽氣系統(tǒng)  燈空閥門不同于其他工業(yè)常用的閥門,其最主要特點是它對閥門的氣密性和漏  率要求極高。閥板的經常開、關最容易造成密封元件表面磨損造成泄漏,特別是金屬密封的超高真空閥門,問題更為嚴重,因此,閥門材料的選擇至關重要。此外真空閥門還要求氣體的阻力小(即盡可能大的流導),傳動部件操作輕便靈活,容易清洗安裝;密封部件耐磨性要好,能反復使用,壽命長
金屬真空閥門的閥體及傳動部件,主要有鋼鐵、鋁、銅等金屬材料,手動閱門的驅動手輪和閥體外部的次要部件可采用高強度塑料,玻璃閥門(又稱活塞、考克),常用于玻璃真空系統(tǒng)。玻璃閥門的優(yōu)點是制作容易、使用方便,易于清洗觀察,玻璃的化學穩(wěn)定性和絕緣性好,放氣量遠遠低于金屬。密封主要依靠真空油脂,不存在磨損問題,因而密封可靠,壽命長。缺點是玻璃的脆性,影響它的使用范圍
真空系統(tǒng)全部件中,真空閥門出現的問題最多。特別是用于超高真空系統(tǒng)的金屬密封閥門,要經常承受高溫烘烤,溫度的上升或下降過程中,金屬的熱脹冷縮最容易產生泄漏。其次是閥板密封材料的損傷、劃痕以及附著在密封面上的粉塵雜質等,也都是造成泄漏的重要原因。特別是閥門的運動部件在運動軌道上隱藏的雜質、污垢及金屬的尖銳棱角等造成的磨損或閥座上的灰塵、毛發(fā)等外來物質都會造
漏氣。轉動密封的氣密性優(yōu)于滑動密封,例如氣動閥門的直線傳動軸,漏氣的可能性最大。建議每次開機時,首先對真空系統(tǒng)的漏氣速率進行測量,發(fā)現漏率變大  時應首先對閥門的氣密性進行檢測。并且應定時維修,提高系統(tǒng)的可靠性  可烘烤閥門的烘烤溫度一般在350℃以下,過高的烘烤溫度很難確保長期運轉  的可靠性,只要能滿足系統(tǒng)對閥門。

 

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