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您的位置: 首頁 ->  維修資訊 -> 濺射離子泵抽氣系統(tǒng)是怎么樣的?

  全無油抽氣系統(tǒng),濺射離子泵是最常見一種,它與前面介紹的幾種抽氣系統(tǒng)最
大的區(qū)別是除了粗抽階段之外,正常運(yùn)轉(zhuǎn)期間,被抽氣體沒有排到大氣中去,而是  貯存在泵內(nèi)的鈦膜中。操作簡便、無振動噪聲、無重碳?xì)浠衔镂廴?若粗抽時采  用吸附泵或無油機(jī)械泵,不存在粗抽泵的污染問題,工作時無需前級泵,在超高真  空條件下甚至不需要夜間值班人員就能長期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),因而廣泛用于潔凈的小型超  高真空裝置中。它的主要問題是抽氣容量問題,由于氣體是以吸附在鈦膜內(nèi)方式  理論上泵的壽命與工作壓力成反比,因此它的長期工作壓力越低,壽命越長,工作  在102Pa的壽命是10-4Pa的壽命的百分之一。其次是泵的磁場問題,需要用于  對磁場有限制的場所,就需要對其磁場進(jìn)行屏蔽  圖5-24所示為用于表面研究的濺射離子泵吸附泵組成的無油超高真空系統(tǒng)  為了彌補(bǔ)濺射離子泵的抽速小、容量有限的缺點(diǎn),采用濺射離子泵與鈦升華泵組成  抽氣機(jī)組。主泵是鈦升華泵,吸氣面用液氮冷卻,鈦升華泵可直接裝在真空室內(nèi)  也可以像圖中所示的將鈦升華泵與濺射離子泵并聯(lián)(或串聯(lián))在一起。真空室1  不銹鋼制成,直徑450mm,高700mm,容積100L,法蘭采用銅墊圈密封,粗抽  三個分子篩泵及無油機(jī)械泵。系統(tǒng)用無油機(jī)械泵從大氣抽到10~100Pa,然后啟  分子篩吸附泵預(yù)抽,這種方法比較經(jīng)濟(jì),并且能夠極大地縮短預(yù)抽時間。也可以  用分子篩泵直接從大氣預(yù)抽,但是需要更大容量的吸附泵,還需要采用二級或三  吸附抽氣。二級吸附抽氣方法是先用一級從大氣粗抽到100Pa,關(guān)閉一級吸附  再用二級泵抽到0.4~0.2Pa。三級吸附抽氣是第一級抽到3000~5000Pa,第二
抽到15Pa,第三級抽到0.1Pa。通常當(dāng)真空室達(dá)到時5×10-1Pa就可以關(guān)閉分子  篩吸附泵啟動鈦升華泵,當(dāng)真空室壓力降低到5×10-2Pa時就可以啟動濺射離子  泵。當(dāng)接通濺射離子泵電源時,由于泵內(nèi)鈦陰極板受到離子轟擊出氣,系統(tǒng)壓力會  升高,此時用鈦升華泵和分子篩吸附泵繼續(xù)抽氣,直到壓力降低到5×10-2Pa。如  果氣量較大,短時間不能降低到濺射離子泵正常工作的啟動壓力,為了防止離子泵  過熱,就需要關(guān)掉濺射離子泵,等到壓力降低以后再次反復(fù)接通和關(guān)閉濺射離子泵  電源(每次約5min),直到離子泵的電壓降低到2000V左右,才可以關(guān)掉分子篩  和鈦升華泵,讓濺射離子泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)。  在鈦泵工作期間,可根據(jù)氣體流量采用連續(xù)蒸發(fā)或斷續(xù)蒸發(fā),一般說來,高壓  力下需要連續(xù)蒸發(fā),低壓下可以斷續(xù)蒸發(fā),隨著壓力降低,斷續(xù)蒸發(fā)時間間隔可以  不斷加長,直至關(guān)閉鈦泵,讓濺射離子泵單獨(dú)工作。根據(jù)工藝流程中的工作壓力盡  可能讓離子泵工作在超高真空壓力下,這樣能夠大大延長離子泵的使用壽命。  升華鈦泵和分子篩吸附泵操作復(fù)雜,故障率高,還需要具備液氮條件。粗抽系  統(tǒng)改用無油的干式機(jī)械泵(爪式機(jī)械泵、碳旋片機(jī)械泵)和無油分子泵(氣浮或磁  浮分子泵)是解決無油粗抽的最有效途徑  圖中的真空系統(tǒng)典型的運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)為:真空室200℃下烘烤3.5h,溫度降低到室  溫后容器的真空度為10Pa,抽氣30h后達(dá)到的極限壓力小于1×10-8

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