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 溫度對真空測量  的色直空規(guī)管實際使用溫度與出廠校準溫度不相同,規(guī)管溫度與被測系統(tǒng)溫度不同,被測系  溫度不均勻或變化,均會引起被測系統(tǒng)中氣體溫度變化,影響真空測量結果,引進測量誤差  至發(fā)生明顯錯誤。設規(guī)管出廠校準時的溫度為T。(一般為293K),規(guī)管現(xiàn)場使用溫度為T1  (單位為K),規(guī)管的讀數(shù)壓力值為pm(單位為Pa),對應氣體的真實壓力和氣體分子數(shù)密度  分別為戶和m(單位為m-3),此時被測真空系統(tǒng)中的溫度為T2,氣體壓力和分子密度為p  和n。在不同的壓力范圍內(nèi),可以按以下公式進行修正。  (1)高壓力(A<d)時,系統(tǒng)平衡條件是各處壓力相等,即

(10-45  采用直接測壓力的直接測量真空計時,規(guī)管溫度、被測系統(tǒng)溫度及規(guī)管校準溫度各不相同  不引起誤差,p1=Pm,不需要修正。而采用測密度的間接測量真空計(熱傳導真空計和電離  必須修正到校準溫度。  真空計)測

(10-46)  (2)低壓力(X>d)時,系統(tǒng)平衡時兩處的壓力和密度都不相等,而是

p  用測壓力的直接測量真空計測量時,p=pm,并按上式進行修正。用測密度的間接測量

10-47)  真空計測量時,則要修正到標準溫度,此時有

TPm和P2

(10-48)  (3)中等壓力~d時,p/Pp2的值處于1和√T1/T2值之間。壓力愈低,會近