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渦輪泵分子泵抽氣機組  圖3-24給出的是一個在真空室和分子泵之間設(shè)有閥門、冷阱的超高真空系統(tǒng),其粗抽  管道和前級管道與圖3-23擴散泵抽氣系統(tǒng)相同。分子泵的前級泵大小的要求卻和擴散泵不  同。擴散泵的正常運轉(zhuǎn)要求前級泵具有足夠大的抽速,在最大排氣量時確保前級壓強低于擴  散泵臨界前級壓力。渦輪分子泵則要求選擇具有足夠容量的前級泵,使最靠近前級管道的葉  片在最大排氣量時處于分子流或者正好處于過渡流。大多數(shù)分子泵的最大穩(wěn)態(tài)進(jìn)氣口壓力  p約為0.5~1Pa,最大前級壓力P前約為30Pa,所以分子泵在最大排氣量時的壓縮比  (pm/p人)或前級泵的抽速與分子泵抽速之比(S/S人)在30~60之間。要求前級管道氫  分壓小的系統(tǒng),配置的抽速比應(yīng)為20:1。南國
渦輪分子泵對油脂一類大分子的壓縮比較高,屬于較清潔的真空泵(又稱半無油泵),  不需要液氮冷阱阻止軸承潤滑油或機械泵泵液的返流。圖中裝在真空室和分子泵之間的液氮  阱的主要用途是提高系統(tǒng)對水蒸氣的抽速,可以縮短烘烤去氣時間。相同的道理,渦輪分子  泵抽氣系統(tǒng)不需要粗抽阱和前級管道冷阱,粗抽時需要采用100~1050Pa的切換壓力,就  能有效防止機械泵油通過粗抽管道遷移到真空室中去  渦輪分子泵對氫的壓縮比和前級氫分壓是影響極限壓力的重要原因之一。降低前級氫分
壓,能夠提高渦輪分子泵的極限壓力。高壓縮比的渦輪分子泵,用兩級旋片機械泵作前級  極限壓力約為5×10-9Pa,用擴散泵作前級時,可提高到1×10-9Pa,在真空室與分子泵之  間增加一個鈦吸附阱或液氮分子篩吸附阱,其極限壓力可低于10-9Pa  用于大流量的渦輪分子泵抽氣系統(tǒng),如刻蝕機等需要抽除放入的大量工藝用氣體,當(dāng)進(jìn)  口壓力過高時,氣流的摩擦阻力會使轉(zhuǎn)速變慢,將使對氫的壓縮比迅速降低。圖325是  Hanlon給出的一臺前級泵35m3/h,巴爾蔡斯公司抽速400L/s分子泵進(jìn)口壓力與抽速的實  驗曲線。入口壓力增大到0.9Pa時,曲線出現(xiàn)拐點,采用較大的前級泵,曲線A段將向右  移動,反之將向左移動。避免抽速下降的方法是在泵入口處設(shè)置限流閥,根據(jù)抽氣流量不變  原理,讓真空室維持需要的工藝壓力的同時,分子泵仍處于全速運轉(zhuǎn)的低壓狀態(tài)