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      任何材料的新鮮表面能夠不斷地吸附氣體,直到飽和為止,這種吸附現(xiàn)象可根  據(jù)作用力的形式分為物理吸附和化學吸附。物理吸附是由范德瓦耳斯力產(chǎn)生,類似  于氣體的液化,最低的吸附能量E稱為吸附熱(在數(shù)值上等于分子脫離表面時必  須克服的位壘高度E),一般在10kcal/mol(1kcal=4.18kJ)以下,吸附是可逆  的,氣-固分子間不會出現(xiàn)電子轉(zhuǎn)移或波函數(shù)的重疊等現(xiàn)象 

將真空系統(tǒng)的壓力降低到一定壓力(例如降到基礎壓力)所需要的時間,稱之為抽氣時  間。抽氣時間在真空裝置的真空系統(tǒng)中由于它直接關聯(lián)到極限壓力、工作壓力性能的好壞問  題,因此,不論是任何真空裝置在設計、研制的過程中,都把抽氣時問作為裝置的主要性能  指標提出來,以此作為驗收真空裝置主要技術性能之一。

將氣體分子解離成離子,并在電場中加速,以一定的能量打在吸氣材料上用以  抽除氣體分子的泵稱為離子泵。普通的熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)都有抽氣作  用,1937年潘寧( Penning)首先觀察到受磁場約束的直流放電具有更為明顯的抽  氣作用,由于這種抽氣效應很小,沒有引起人們的注意,直到1958年霍爾(Hl)  把幾個陽極小筒并聯(lián)起來,做成第一臺有商業(yè)價值的濺射離子泵  濺射離子泵屬于清潔超高真空泵,沒有任何油蒸氣污染。

離子束刻蝕機由真空室、工作臺、快門、真空抽氣系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電源和  電器系統(tǒng)等主要部分組成,圖1-1所示為離子束刻蝕機的工作原理圖。該機在正常工作  時,首先將真空室的壓力抽至2×10-3Pa或更低,再調(diào)節(jié)Ar氣流量,使真空室壓力保持  在1×10-2~2×10-2Pa(如需要輔助氣體,如O2、CH2等,則可按一定比例與之混合),  然后啟動離子源各電源,使離子源正常工作,從離子源引出一定能量和密度的離子束  被中和器發(fā)射的電子中和后,轟擊工件進行濺射刻蝕。

    當泵的吸氣量為零時,此時,泵入口的壓力值稱為極限壓力,通?；y式往復泵真空度較  高,固定閥的往復泵真空度較低。這里以固定環(huán)狀閥立式往復泵為例,討論影響真空度的因素和解決辦法
A、排氣閥的阻力損失
吸、排氣閥的阻力損失愈小,則泵的耗能小、溫升小,可提高相對容積系數(shù)Av,降低泵的極限壓力。